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壓力傳感器引線鍵合金線的振動疲勞研究

發布時間：2013/8/30 11:25:27

文件類型：pdf

資料大小：288.47KB

提供者：網絡轉載

【壓力傳感器引線鍵合金線的振動疲勞研究】

資料介紹

本文對一種汽車用MEMS壓力傳感器中的鍵合金線，在加速振動試驗時的疲勞情況進行了研究。首先簡單介紹了MEMS壓力敏感芯片引線鍵合以及引線的基本情況，然后利用有限元方法對引線在20g的加速振動下的疲勞和壽命進行了分析，并利用了概率上的冗余理論對鍵合工藝提出了改進，最后給出了實際的結果，證實了模擬和改進工藝的合理性。

網絡轉載

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