基于壓力傳感器封裝的波紋膜片的結(jié)構(gòu)研究
發(fā)布時(shí)間：2013/9/2 11:17:24
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【基于壓力傳感器封裝的波紋膜片的結(jié)構(gòu)研究】
針對(duì)隔離型壓力傳感器封裝的特點(diǎn)，介紹了波紋膜片的設(shè)計(jì)過(guò)程，并利用有限元分析方法對(duì)影響波紋膜片性能的主要因素—膜片厚度和波紋深度進(jìn)行了分析研究，對(duì)波紋膜片的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，改善了封裝有波紋膜片的壓力傳感器的線性度和靈敏度。
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