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產品簡介：

MF4300系列氣體質量流量計是2008年首次發布的

MF4000系列氣體質量流量計的第三代升級版。

MF4300 采 用 本 公 司 專 有 的 系列氣體質量流量計

MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子

技術。與市場上傳統的量熱式流量傳感技術相比，這種獨

特的時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而

對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現氣體識別。

MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結合防水、防

油納米涂層，產品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量

傳感技術還提供了更好的線性度，并使溫度效應大幅降

低。

MF4300系列氣體質量流量計能直接測量氣體質量流

量， 工作壓力提高到 適用于各類清潔、干燥氣體。MF4300

1 0MPa 0 10SLPM 0 200SLPM . ，測量范圍涵蓋 ~ 到 ~ 。 2

MF4300 多種信號輸出，通過RS485 I C 通訊接口 提供 或 數字

可實現 。MF4300具備LED數字顯示和 遠程數據采集與設置

按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數

產品特點：

質量流量，時域傳感技術

量程比100：1

全量程高度和優良的重復性

可測量多種氣體不需要特別修正

模擬電壓、RS485 Modbus、I C等多種輸出信號 2

支持多種連接方式，易于安裝與使用

工作原理：

MF4300系列的氣體質量流量計是基于迪川儀器儀表有

限公司研制 流量傳感芯片，其原理是利用流動氣 MEMS

到氣體的質量流量。

該流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感

器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩

定的溫度場分布。當有氣體流過時，微熱源周邊會形成新

的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的

溫度變化并轉換為電信號，經放大、調理和線性化處理

后，通過LED顯示或模擬、數字信號輸出。由于不同種類的

氣體對微熱源周邊形成穩定的溫度場分布所產生的溫度變

化不同，所以能測量氣體的質量流量。