PI 應用 生產級別晶圓探測和光子學測試
文:文 / 普愛納米位移技術(上海)有限公司2024年第五期
導語:硅光芯片作為一種新興技術,能夠在很大程度上彌補集成電路微電子技術在數據傳輸和能效方面的瓶頸,但這些技術給測 試和封裝過程帶來了很多挑戰,本文簡要介紹了PI針對生產級別晶圓探測和光子學測試提供的優秀運動控制解決方案。
硅光子學在推動諸如量子計算、納米衛星、光探測和 測距(激光雷達)以及光學邏輯等尖端技術的發展方面起著 至關重要的作用。此外,硅光子學的應用還能夠提高數據處 理、存儲和傳輸方面的性能。這些技術給測試和封裝過程帶 來了很多挑戰,特別是在具有高潔凈度要求的高產量生產環 境中光纖器件的對準方面。
該運動解決方案的主要特點包括:
? 生產級別自動化光子學對準;
? 生產效率提高百倍;
? 全天候運行,性能可靠;
? 適用于極其潔凈的環境;
? 降低擁有成本;
? 優化任何品質因數。
1 XYZ軸:光纖到光纖或光纖到波導對準
?無摩擦、免維護空氣軸承設計,用于全天候高占空比應用;
? 音圈直接驅動電機,可實現平穩運行、高動態和快速步 進與穩定;
? 集成直線光柵尺,可實現準確定位;
? 創新緊湊的XYZ設計,節省集成空間;
? 集成Z軸平衡裝置,可實現垂直操作,同時將對平臺外 形的影響降至最低;
? 主要平臺:帶空氣軸承的A-142 PIglide音圈線性平 臺、A-143 PIglide小型線性空氣軸承平臺。
2 θZ軸:光子器件的精密旋轉定位(可選)
? 高精度且可重復的360 旋轉,無空回;
? 采用直接驅動電機技術,運行平穩而精密,無齒槽效應;
? 高動態無刷力矩電機;
? 高精度絕對或增量編碼器選配件;
? 低外形設計,節省集成空間。
3 用戶友好且靈活的自動化控制
? 采用基于ACS的集成對準算法的高性能工業控制器;
? 專有固件提供用于第一束光檢測的快速區域掃描算法, 以及用于峰值耦合的梯度和質心算法;
? 軟件支持常見操作系統以及多種編程語言(包括 MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW);
? 主要產品:A-81x PIglide運動控制器。
PI提供了基于不同電機、導向和傳感器技術的先進運 動解決方案,可實現全天候的快速自動化運行。這些解決 方案輔以獨特的專有對準算法,可并行優化任何品質因數 (FoM),從而將生產效率提高百倍以上。
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