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大行程高精度兩級定位工作臺的控制方法研究

發布時間:2008/4/21 9:01:00

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提供者:中國傳動網

【大行程高精度兩級定位工作臺的控制方法研究】

資料介紹
研究了具有宏微兩級驅動歧定位工作臺的控制技術,誼工作臺采用直線電機進行大位移驅動,來保證較走的工作行程和較快的響應速度

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