摘要：單軸硅微加速度傳感器將敏感部分與外圍信號調(diào)理電路集成在一起，成為一個完整的加速度測量系統(tǒng)。系統(tǒng) 除供電電源外不需要任何外加因素，能夠?qū)崿F(xiàn)電路的無觸摸啟動工作。敏感部分采用差動電容式結(jié)構(gòu)具有高靈敏 度、寬量程、較低的非線性誤差、外圍電路簡單等優(yōu)點。