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智能MEMS氣體傳感器中微加熱器的優化設計

發布時間:2009/3/3 11:04:00

文件類型:pdf

資料大小:340.39KB

提供者:中國傳動網

【智能MEMS氣體傳感器中微加熱器的優化設計】

資料介紹
傳統的金屬氧化物氣體傳感器通常用于測量可燃性烴類氣體和其他有毒氣體。但是,他們存在兩種缺陷,即(a)較高的工作溫度(不小于300℃)及(b)較大的功耗(大于1瓦)。

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