為了分析CMOS SnO2氣體傳感器的工作，有必要建立合適的模型，采用晶粒邊界的肖特基勢壘模型和固體表面對(duì)氣體的Freundlich等溫吸附很好地解釋了SnO2的電導(dǎo)與檢測氣體體積分?jǐn)?shù)工作溫度之間的關(guān)系，利用ANSYS7．0對(duì)實(shí)際設(shè)計(jì)的傳感器進(jìn)行了熱仿真，這便于在CMOS后加工工藝中很好地對(duì)其控制。