為解決微型無(wú)線傳感器節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì)過(guò)程中無(wú)法分析射頻微機(jī)電（RF MEMS）器件微小可動(dòng)結(jié)構(gòu)的電磁特性問(wèn)題，提出一種電磁建模方法——變形時(shí)域交替方向隱式有限差分（DADI-FDTD）法．采用有限差分技術(shù)，引入時(shí)間變量實(shí)現(xiàn)一維垂直運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)方程的時(shí)域離散；討論了時(shí)域交替方向隱式有限差分（ADI-FDTD）法的三維數(shù)值色散關(guān)系；提出線性電（磁）介質(zhì)參數(shù)插值的方法，解決了運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的機(jī)械時(shí)空步與電磁時(shí)空步的不一致問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了復(fù)雜三維動(dòng)態(tài)結(jié)構(gòu)的時(shí)域描述．仿真實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該方法可行有效．