為了解決傳統位移傳感器大量程與高精度不可兼得的問題，研制了一種表面輪廓綜合測量儀．該儀器采用二維位移傳感器和垂直掃描工作臺．壓電陶瓷驅動器和伺服電機根據零位偏移量驅動垂直掃描工作臺進行垂直方向的位移。確保測量杠桿總是在每個采樣間隔回到平衡位置，即使在量程增大的情況下由杠桿旋轉引起的非線性測量誤差也非常小．由實驗和理論分析可知，該儀器可對球面、臺階、溝槽和其他各種曲面的表面粗糙度和輪廓尺寸進行精確測量．