討論和分析了數(shù)控機(jī)床伺服系統(tǒng)的閉環(huán)和半閉環(huán)控制;并討論數(shù)控伺服系統(tǒng)所采用的先進(jìn)雙閉環(huán)控制理論,彌補(bǔ)了單一控制方式的不足,表明了其不僅具有高精度的位置控制功能,而且還有極高的穩(wěn)定性和易調(diào)試性;另外,采用了先進(jìn)的光柵反饋補(bǔ)償裝置,使機(jī)床具備了超精密的定位和軌跡跟蹤功能,能實(shí)現(xiàn)大型光學(xué)零件的超精密加工。