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MEMS傳感器的優化與動態試驗

發布時間：2009/4/9 11:34:00

文件類型：rar

資料大小：220.18KB

提供者：中國傳動網

【MEMS傳感器的優化與動態試驗】

資料介紹
為了實現液壓系統的動態測量，給液壓系統的設計以及故障診斷提供理論依據，在已經設計的新型MEMS流量傳感器的基礎上，對其結構尺寸進行了進一步的優化，并對MEMS芯體和優化后的MEMS傳感器進行靜態標定。

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