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掃描探針顯微鏡針尖電容的測量與應(yīng)用

發(fā)布時間:2009/4/20 12:11:00

文件類型:rar

資料大小:260.97KB

提供者:中國傳動網(wǎng)

【掃描探針顯微鏡針尖電容的測量與應(yīng)用】

資料介紹
本文基于掃描探針顯微鏡(SPM)建立了微區(qū)電容的低頻測量系統(tǒng),最小測量電容為30aF,工作頻率為20~100kHz。試驗(yàn)測量了SPM導(dǎo)電針尖與金屬樣品之間的電容Ctip與它們之間的距離z關(guān)系曲線,并同時通過光學(xué)系統(tǒng)測量了針尖的關(guān)于頻率的一次受力信號Fw與z的關(guān)系曲線。

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