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基于PMAC的直線電機PID研究

發布時間：2009/4/20 14:57:00

文件類型：rar

資料大小：728.64KB

提供者：中國傳動網

【基于PMAC的直線電機PID研究】

資料介紹
本文介紹了PMAC運動控制器及直線電機原理，著重講述基于PMAC控制器的直線電機PID調節，并提出了PID＋前饋控制法對直線電機進行控制。該方法應用于光刻機控制系統中，并已投入現代工業。[著者文摘]

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