針對直線電機驅動的高性能XY工作臺的結構及運動特點，提出基于小波多分辨率分析與信號時域分析相融合的高性能XY工作臺故障診斷方法；該方法通過分析研究高性能工作平臺多工況多位置的振動信號，對信號進行小波多分辨率分解后不同尺度上的分解系數模值取平方，進行消噪處理，解決了工作臺振動信號中隨機噪聲信號和故障特征信號混疊不易提取的難題，由獲取的小波系數模值平方序列結合時域分析方法構造特征量，提取出故障信號特征。試驗表明，該方法可有效地實現高性能XY工作臺的故障診斷。[著者文摘]