本發(fā)明提供了BET表面積為20—150m︿2／g的聚集的晶體硅粉末。它是通過(guò)如下步驟制得的：使至少一種蒸氣的或氣態(tài)的硅烷和任選存在的至少一種蒸氣的或氣態(tài)的摻雜物質(zhì)、惰性氣體和氫氣在熱壁反應(yīng)器中受熱，將反應(yīng)混合物冷卻或者待反應(yīng)混合物冷卻并將粉末狀反應(yīng)產(chǎn)物與氣態(tài)物質(zhì)分離，其中相對(duì)于硅烷、摻雜物質(zhì)、氫氣和惰性氣體之和，硅烷的比例在0．1—90重量％之間。