解決精密直線電機(jī)位移裝置中負(fù)載擾動(dòng)、切削力波動(dòng)以及參數(shù)的變化對(duì)系統(tǒng)性能影響較大的問(wèn)題，利用在頻率域選擇加權(quán)函數(shù)，并將其轉(zhuǎn)化到狀態(tài)空間進(jìn)行優(yōu)化的方法，將H∞魯棒控制算法應(yīng)用到精密直線電機(jī)位移裝置中。仿真實(shí)驗(yàn)證明，該控制器具有良好的跟蹤性能，同時(shí)具有很好的抗干擾能力和較強(qiáng)的魯棒性。與學(xué)習(xí)迭比例積分微分控制（PID）所達(dá)到的穩(wěn)態(tài)跟蹤誤差±4μm和重復(fù)控制所達(dá)到的穗態(tài)跟蹤誤差±0．4μm相比，該H∞魯棒控制算法使系統(tǒng)的跟蹤精度有了明顯的提高。[著者文摘]