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IGCT器件的光刻技術

發布時間:2009/9/6 13:39:00

文件類型:rar

資料大小:206.54KB

提供者:中國傳動網

【IGCT器件的光刻技術】

資料介紹
主要介紹了集成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術。IGCT器件的光刻次數多,精度要求高,如何保證光刻質量是關鍵。

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