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SnO2基薄膜氣體傳感器制作與敏感性測試

發(fā)布時間:2013/9/2 11:11:03

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【SnO2基薄膜氣體傳感器制作與敏感性測試】

資料介紹

在現(xiàn)有的粉末燒結(jié)型SnO2基氣敏傳感器基礎(chǔ)上研制了薄膜型SnO2基氣體傳感器,以拋光的耐熱石英玻璃為基片,真空磁控濺射50~70nm厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分別濺射不連續(xù)的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜,傳感器背面濺射30μm的Ni80Cr20電阻合金作為傳感器加熱電阻,用薄膜熱電偶測量傳感器工作溫度。測試了不同的復(fù)合膜對傳感器靈敏度和選擇性的影響,并對傳感器的吸附與解吸速度進行了測試,薄膜傳感器達到相同靈敏度所需的工作溫度比粉末燒結(jié)型傳感器下降100~150℃,吸附解吸速度比粉末燒結(jié)型快。

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