高溫壓力傳感器的熱模擬
發(fā)布時(shí)間：2013/9/5 17:10:13
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【高溫壓力傳感器的熱模擬】
探討了一種多晶硅高溫壓力傳感器的設(shè)計(jì)方法，論述了其較一般高溫壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)及其制造工藝流程。重點(diǎn)利用ANSYS軟件對模型進(jìn)行了熱模擬，比較了AlN，SiO2與Al2O3分別作為絕緣散熱層時(shí)模型中的溫度分布，并且比較了散熱層不同厚度時(shí)力敏電阻中心點(diǎn)的溫度。
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