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直驅系統——上銀單臂晶圓機器人資料
發布時間：2019/6/20 16:59:30
文件類型：pdf
資料大小：4462.68KB
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【直驅系統——上銀單臂晶圓機器人資料】
RWS單臂晶圓機器人采用上銀自制高精密、高剛性直驅馬達，重復精度可達±0.02mm。
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