

海科思 GM-6050A最新光罩影像測量儀
企業信息
『產品介紹』:
光罩技術的GM超高精度影像式測量儀系列,為七海首創之專利光罩技術制造而成,此技術已獲美國、臺灣及大陸等地區的發明和創新專利。此類機種的精度幾乎不受機械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在600mm×500mm以上的機型,無論是XY軸向精度,還是XY平面坐標精度皆能在5μ內,其精準度比所有百萬價值內的德國、日本或其它國外進口的機器更精準。
『參數』:
重現性<0.002mm臺面大小700*650mm
解析力標準0.001mm機臺重量750kg(包括機架)
平面精度3.5+5L/1000µm影像放大倍率20x-120x30x-225x
示值精度(X、Y)3+5L/1000µm光學放大倍率0.65X-4.5X
工作行程(X/Y/Z)600*500*200mm1000*800*200mmCCD專用彩色1/3英寸高解析480TV線
外形尺寸(WxDxH)1250*808*1680mm可選配置無死角旋轉燈
測量范圍(X*Y*Z)600*500*100mm工作行程811*1250*1680mm
影像攝取系統sony芯片高解析彩色CCD測量理論晶元光罩絕對坐標系統
鏡頭SEVENOCEANOPTICAL自動變焦鏡頭控制系統全自動閉環控制系統,日本松下PANASONIC伺服閉環控制系統
工作臺結構00級花崗巖儀器結構00級花崗巖
電源220V50±5HZ功率1KV
溫度范圍20±5℃1℃/h2℃/24h1℃/m濕度40%-70%
震動<30HZ工作臺承重3-5KG均布
·本機適用的行業有:PCB板、鈑金、電子類等產品的高精度測量。

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