電容微位移傳感器ZCS1100簡介

ZCS1100是一個單一的通道，高性能線性位移測量系統(tǒng)，電容微位移傳感器創(chuàng)新的電容位移測量技術(shù)，提供了納米測量能力，成本低，適合測量任何導(dǎo)電目標(biāo)。

電容微位移傳感器主要特點

納米級分辨率；

線性0.08%；

靈敏度可調(diào)；

量程：240µm；

分辨率：0.1nm；

供電：±15VDV；

高性能、成本低，尺寸小巧；

電容微位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域

壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。