日本神視（SUNX）推出了通過(guò)流量變化來(lái)檢測(cè)壓力變動(dòng)的傳感器“數(shù)字流量傳感器FM-100”系列產(chǎn)品。之所以采用檢測(cè)流量變化來(lái)檢測(cè)壓力，是因?yàn)榱髁康淖兓恳笥趬毫Φ淖兓浚菀讬z測(cè)的緣故。能夠高精度地檢測(cè)以前的壓力傳感器難以察覺(jué)的微小壓力變動(dòng)。適用于自動(dòng)組裝設(shè)備、電子部件制造裝置以及半導(dǎo)體制造裝置。 外形尺寸方面，口徑4mm的型號(hào)為17×37×55mm。重量約為70g。雖然體型小巧，但借助白金芯片以及新機(jī)構(gòu)的整流方式，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度檢測(cè)。線性為±5％F.S.。可用于無(wú)論正壓或負(fù)壓的吹洗氣體管理以及吸附管理。 適用流體方面，除了符合JIS B 8392-1.1.2～5.6.2標(biāo)準(zhǔn)的清潔空氣之外，還有符合JIS B 8392-1.1.2～1.6.2標(biāo)準(zhǔn)的壓縮空氣、氮?dú)狻４舜萎a(chǎn)品種類(lèi)共有從額定流量范圍為50m～500mL/分的“FM-152-4”直至10～100L/分的“FM-115-AR4”等7種型號(hào)。