

AWM2000系列氣體流量傳感器
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AWM2000系列為無源器件,包含兩個惠斯通電橋;一個為閉環的發熱控制電路,一個為雙傳感電路;檢測小流量,無放大輸出。
主要特點:
1)雙向氣流傳感
2)實際氣體質量流量傳感器
3)流速0~30sccm到0~1000sccm
4)需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路

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