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日本OMRON 微型光電傳感器-變調光-EE-SPY801/802（代理）
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產品介紹
產品名稱： 晶圓片托架落座傳感器
產品介紹：
薄片載體的落座檢測
■依靠與導槽并用，設定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。
■在獨特的光學結構，幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
■采用強抗外部干擾光的變調光方式。
■電線使用凈化電線（無粉塵）。
產品類別： 落座檢測
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