集成電路照排平臺高精度定位傳感器概述： 集成電路照排平臺高精度定位電渦流位移傳感器在關鍵的Z軸高度調整中，支撐圓晶片的平臺必須非常精確地處于焦點平面（次原子級）。凱盟系統精確測量Z軸平臺的位置（如圖）并輸出模擬信號（或可選的數字接口）。此傳感器的高精度、重復性和分辨率可讓用戶在平臺定位和聚焦上形成閉環。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。 集成電路照排平臺高精度定位傳感器主要指標： 測量對象：鋁 量程起點：0.25mm 量程：25µm 非線性：±1% 分辨率：<25x10︿-11M 靈敏度：0.4V/µm 電源：+12～+30V，15MA/每通道 頻響：0－10KHZ 輸出：0-10V 溫漂：<0.5µm/℃