橫河電機(jī)是在日本國內(nèi)擁有28家關(guān)聯(lián)公司，在全世界27個國家中擁有61家公司的跨國性集團(tuán)公司。橫河電機(jī)將測量、控制、信息作為自己的技術(shù)領(lǐng)域，通過為產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和社會的進(jìn)步做出貢獻(xiàn)，持續(xù)發(fā)展至今。
      此次與天津羅升強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手，立志給客戶提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，歡迎來電來函。

      MicroStage是橫河公司推出的獨特的整合了直線電機(jī)、橫河直接驅(qū)動電機(jī)的三軸運動平臺。DYNASERV在市場取得好成績的銷售已經(jīng)有10年了，伴隨著DYNASERV系列直接驅(qū)動伺服的發(fā)展，LINEARSERV系列直線電機(jī)也取得了良好的發(fā)展與壯大。
      MicroStage是一種結(jié)合了兩臺LINEARSERV系列直線電機(jī)以及DYNASERV系列直接驅(qū)動伺服的高速、高精度的運動控制平臺。
      MicroStage運動平臺可以應(yīng)用與各個工業(yè)的各個機(jī)械設(shè)備，特別是應(yīng)用在半導(dǎo)體制造以及探傷檢測設(shè)備上，這種高精度的運動控制平臺已經(jīng)被非常多的用戶認(rèn)可。
 
正交度：25um
平行度：＋-20um(全行程)
重復(fù)定位精度：＋－0.1um（全行程）