產品介紹：

　　形狀測量激光顯微系統

　　•[全新]數碼顯微系統觀察

　　•16bit激光彩色觀察

　　•[廣視野]WIDE-Scan

　　•[簡便]AI-Scan

　　•高分辨率，大景深觀察

　　•仿佛彩色SEM

　　•無損輪廓和粗糙度測量

　　1臺機器便可以實現無與倫比的高分辨率大范圍形狀測量

　　產品特性

　　解決問題

　　激光掃描顯微系統可以解決所有的課題

　　使用激光顯微系統則可全部簡單地實現

　　光學顯微鏡

　　提升倍率后，難以對焦，分辨率不足。

　　SEM

　　前處理或樣本尺寸等的準備煩瑣，僅能以黑白色進行觀察。

　　粗糙度儀

　　不能夠實現一邊放大觀察，一邊對工件部位實施非破壞性的凹凸測量。

　　有限的分辨率和放大倍數

　　光盤坑(6000倍)

　　景深淺

　　刀尖(1000倍)

　　不支持可追溯性

　　高分辨率，最大放大24000倍

　　光盤坑（6000倍）

　　完全聚焦的清晰圖像

　　刀尖（1000倍）

　　符合溯源性要求

　　使用VK系列獲得的測量結果是高度可靠的測量數據，并且符合國家標準溯源性。

　　顏色不能確定，因為圖像是黑色和白色

　　墨粉(1000倍)

　　準備與觀察需要大量時間

　　樣本大小是受限制的

　　由于受到樣本的大小或者樣本不適合在樣品室等原因的影響，觀察有時是不可能的。

　　16bit激光彩色觀察

　　墨粉（1000倍）

　　放置并且測量，您可以在幾秒鐘內進行分

　　各種樣品的測量

　　可拆卸測量頭單元允許各種尺寸的樣品測量。可拆卸測量頭單元可以與其他設備整合并支持遠程操作。

　　由于接觸探針造成樣本刮傷

　　鋁表面（200倍）

　　在屏幕上水平凹槽。

　　難以測量目標

　　用觸筆擊中目標的理想位置可能會產生一些問題，例如目標為螺紋頂。

　　分辨率受限于觸筆尖端直徑

　　無法測量粗糙度小于測量儀器的觸筆尖端的粗糙度的表面。

　　全方位性質的清晰觀察

　　從光學觀察到類似于彩色SEM的高分辨率觀察

　　16bit激光彩色觀察

　　在大氣中以全方位性質的分辨率實現全焦觀察。

　　光學觀察

　　全焦觀察

　　高分辨率激光黑白觀察

　　16bit激光彩色觀察

　　在大氣中以全方位性質的分辨率實現全焦觀察。

　　通過短波長激光全面掃描，能夠以光學顯微鏡無法實現的分辨率，按200至24000倍率*實現全焦觀察。

　　*VK-X200系列時

　　光學圖像

 

　　激光圖像盤片坑（6000倍）

　　以類似于SEM的分辨率實現真彩觀察。

　　對于由激光獲取到的各像素均已正確對焦的高度的色彩信息，由CCD相機按每１像素分別提取，再轉換成激光高分辨率圖像。

　　激光黑白圖像

　　16bit激光彩色圖像墨粉（1000倍）

　　可運行所有表面形狀測量

　　對于拍攝到的圖像可自由測量

　　“想測量高低差·形狀實現數值化”

　　[剖面３D測量]

　　高度·寬度·角度截面積測量

　　對測量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓，都可進行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R值”等測量。

　　基板高度差高度·寬度測量（1000倍）

　　微攝鏡頭R測量（1000倍）

　　表面積·體積測量

　　測量屏幕上任何指定區域的“體積”、“表面積”、“面積∶表面積之比”。

　　光學薄膜(1000倍)

　　太陽能電池表面積測量（1000倍）

　　“想要將表面狀態的差異實現數值化”

　　[可以精確測量線粗糙度和面粗糙度]

　　線粗糙度測量

　　可以一邊觀察2D或3D圖像，一邊避開頂點或異物，測量目標部位的粗糙度。

　　面粗糙度測量

　　從視覺上來講存在差異，那么差異究竟有多大呢?可以測量面的粗糙度，通過數值確認平均化后的差異。

　　（例）功能性薄膜的暗紋（3000倍）

　　樣本A:Ra1.5μm

　　樣本B:Ra3.2μm

　　透明薄膜測量內置“獨特的算法”

　　不僅實現膜厚測量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。

　　可對觀察視野整個區域執行多層分析。可對已選的各層或多層進行3D圖像顯示、橫截面輪廓顯示，可測量任意位置的形狀、薄膜厚度。

　　“想要一次性自動拍攝·測量多個樣本”

　　[自動測量具備規則圖形的工件]

　　自動寬度·高度測量

　　對于具備規則圖形的工件的寬度·高度，按照設置條件自動測量。由于是自動測量，因此不會生成人員造成的誤差，可以在短時間內完成測量。

　　光致抗蝕圖形（6000倍）

   　光學薄膜（1000倍）

　　全自動測量

　　誰都可以實現和熟練人員一樣的測量

　  通過融入長年專有經驗的AI-Scan，僅需按下“測量開始”按鈕，便能得到符合樣本的最佳設置，實現全自動測量。

　　[世界首創]AI-Scan3個功能

　　單擊測量開始按鈕便可實現

　　1.AAG功能

　　對受光組件的激光受光靈敏度運行２項最佳調整。對于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測量。

　　*AAG=AdvancedAutoGain

　　傳統方式

　　AAG功能

　　金剛石工具（400倍）

　　2.自動上下限設置

　　對于樣本的上下限在整個畫面區域實現自動識別和設置，在上下限范圍之內運行掃描和測量。

　　鏡頭自動掃描

　　識別畫面內的上下限,自動設置為測量范圍。

　　3.雙掃描功能

　　識別到未有效拍攝的部分時，會自動改變設置，運行二次拍攝，獲取正確的數據。

　　單掃描時

　　雙掃描后

　　焊錫（200倍）

　　廣視野的測量

　　通過WIDE-Scan簡單·高速地實現廣視野的測量。

　　課題1

　　視野狹窄的話，無法明確正在觀察哪個部位。還想觀察周圍。

　　使用WIDE的話則可一目了然，不會發生測量部位的錯誤。

　　想要提升倍率實現高精度的觀察·測量時，有時會因視野狹窄而不明白正在觀察哪個部位。按照對應目標分辨率的倍率使用WIDE-Scan的話，則可簡單地獲取到廣視野的高分辨率3D圖像。之后對觀察部位也可做到一目了然。

　　課題2

　　關于局部性的測量，會因拍攝部位不同而使數據生成偏差。

　　使用WIDE的話，則可一次性測量多個部位并實施平均化處理。

　　測量數量少的部位時，會因選擇不同部位使數值生成偏差。使用WIDE-Scan的話，則可簡單獲取到廣視野的高分辨率3D圖像。能夠輕松地測量多個部位，并實施平均化處理，使最終判斷不會受到選擇部位的影響。