敞開式增量直線光柵尺  LIF 400

精度高和安裝簡單

應用

• 半導體后端生產設備

• 計量儀器

特點

• 緊湊型讀數頭和光柵尺

• PRECIMET背膠固定，安裝簡單

• 抗污染能力較強

• 限位開關和回零軌

技術參數

• 玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的
SUPRADUR相位光柵

• 信號周期 4 µm

• 精度等級 ± 3 µm

• 典型位置誤差

單信號周期內 ± 0.04 µm

• 測量長度 至1 020 mm

• 接口 1 VPP或TTL