敞開式增量直線光柵尺  LIDA 400

用于高速運動和大測量范圍

應用

• 半導體工業生產和檢測設備

• PCB電路板組裝機

• 測量機

特點

• 運動速度快

• 測量長度大

• 安裝公差大

• 限位開關

• 多種型號可供選擇

技術參數

• 鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵

• 信號周期 20 µm

• 測量步距 至0.05 µm 

• 精度等級 至± 5 µm

• 典型位置誤差

單信號周期內 ± 0.2 µm

• 測量長度 至30 m

• 接口 1 VPP或TTL