激光ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨åœ¨ç²¾å¯†æ¸¬åŽšä¸çš„æ‡‰(yÄ«ng)用
時(shÃ)間:2008-02-15 10:03:00來æºï¼šshixi
å°Ž(dÇŽo)語:?激光三角漫åå°„ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨ç”¨äºŽæ¸¬åŽšæœ‰æ˜Žé¡¯å„ª(yÅu)點(diÇŽn):éžå¸¸å°çš„æ¸¬é‡å…‰æ–‘,較é (yuÇŽn)的測é‡èŒƒåœèµ·å§‹é–“è·ï¼Œæœ‰å¾ˆå¤§çš„æ¸¬é‡èŒƒåœï¼Œèˆ‡è¢«æ¸¬é«”ææ–™ç„¡é—œ(guÄn)。
激光三角漫åå°„ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨ç”¨äºŽæ¸¬åŽšæœ‰æ˜Žé¡¯å„ª(yÅu)點(diÇŽn):
ï¼éžå¸¸å°çš„æ¸¬é‡å…‰æ–‘,是點(diÇŽn)å…‰é¢ç©ï¼Œå¦‚真尚有公å¸ZLDS10X系列光斑é¢ç©ç´„1mm,它比é¢ç©åž‹éžæŽ¥è§¸é›»å®¹ã€é›»æ¸¦æµå‚³æ„Ÿå™¨ï¼Œå°è¢«æ¸¬é«”é¢ç©å¹¾ä¹Žç„¡è¦æ±‚,é©åˆæ¸¬é‡éžå¸¸å°é¢ç©å°ºå¯¸åŽšåº¦ï¼›
ï¼è¼ƒé (yuÇŽn)的測é‡èŒƒåœèµ·å§‹é–“è·ã€‚å®ƒæ¯”éžæŽ¥è§¸é›»å®¹ã€é›»æ¸¦æµå‚³æ„Ÿå™¨èµ·å§‹é–“è·å¤§å¾ˆå¤šï¼Œå¦‚真尚有公å¸ZLDS100激光ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨æ¸¬é‡é‡ç¨‹100mm,測é‡é–“è·å¯ä»¥é”(dá)到1000mm。這樣傳感器å¯ä»¥é (yuÇŽn)離被測體,å…å—碰壞,åŠè¢«æ¸¬é«”熱輻射影響;
ï¼æœ‰å¾ˆå¤§çš„æ¸¬é‡èŒƒåœï¼Œå¦‚真尚有公å¸ZLDS101激光ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨é‡ç¨‹é”(dá)2000mm,這是其它傳感器很難åšåˆ°çš„ï¼›
ï¼èˆ‡è¢«æ¸¬é«”ææ–™ç„¡é—œ(guÄn),å³é‡‘屬éžé‡‘屬體,éžé€æ˜Žæœ‰æ¼«åå°„æ¢ä»¶è¡¨é¢éƒ½èƒ½æ¸¬ã€‚
和其它傳感器測厚一樣,è¦å¯¦(shÃ)ç¾(xià n)ç²¾å¯†æ¸¬åŽšéœ€è¦æ³¨æ„以下æ¢ä»¶ï¼Œå¦å‰‡å†å¥½çš„å‚³æ„Ÿå™¨ä¹Ÿæ¸¬ä¸æº–(zhÇ”n):
1ã€ç”¨å–®æ¿€å…‰ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨æ¸¬åŽš
  
被測體放在測é‡å¹³è‡º(tái)上,測é‡å‡ºå‚³æ„Ÿå™¨åˆ°å¹³è‡º(tái)表é¢è·é›¢ï¼Œç„¶åŽå†æ¸¬å‡ºå‚³æ„Ÿå™¨åˆ°è¢«æ¸¬é«”表é¢é–“è·ï¼Œç¶“(jÄ«ng)計(jì)ç®—åŽæ¸¬å‡ºåŽšåº¦ã€‚è¦æ±‚被測體與測é‡å¹³è‡º(tái)之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴(yán)æ ¼è¦æ±‚åªæœ‰åœ¨é›¢ç·šæƒ…æ³å¯¦(shÃ)ç¾(xià n)。

2〠雙激光傳感器測厚
在被測體上方和下方å„安è£ä¸€å€‹(gè)激光ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨ï¼Œè¢«æ¸¬é«”厚度D=C-(A+B)。其ä¸ï¼ŒC是兩個(gè)傳感器之間è·é›¢ï¼ŒA是上é¢?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間è·é›¢ï¼ŒB是下é¢?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間è·é›¢ã€‚圖ä¸ï¼šSMR是指傳感器é‡ç¨‹èµ·å§‹é–“è·ï¼ŒMR是指傳感器é‡ç¨‹ã€‚
在線厚度測é‡ç”¨é€™ç¨®æ–¹æ³•優(yÅu)點(diÇŽn)æ˜¯å¯æ¶ˆé™¤è¢«æ¸¬é«”振動(dòng)å°æ¸¬é‡çµ(jié)æžœçš„å½±éŸ¿ã€‚ä½†åŒæ™‚(shÃ)å°å‚³æ„Ÿå™¨å®‰è£å’Œæ€§èƒ½æœ‰è¦æ±‚。
ä¿è‰æ¸¬é‡æº–(zhÇ”n)確性的æ¢ä»¶æ˜¯ï¼šå…©å€‹(gè)傳感器發(fÄ)å°„å…‰æŸå¿…é ˆåŒè»¸ï¼Œä»¥åŠå…©å€‹(gè)傳感器掃æå¿…é ˆåŒæ¥ï¼ˆè¦‹æœ¬æ–‡é™„圖)。åŒè»¸æ˜¯é 安è£å¯¦(shÃ)ç¾(xià n)ï¼Œè€ŒåŒæ¥è¦é 鏿“‡æœ‰åŒæ¥ç«¯æ¿€å…‰å‚³æ„Ÿå™¨ã€‚如真尚有ZLDS10X系列激光ä½ç§»å‚³æ„Ÿå™¨éƒ½æœ‰åŒæ¥ç«¯ã€‚
  
åŒæ¥å·¥ä½œç¤ºæ„圖:
ä¸åŒæ¥å°‡ä»£ä¾†å¾ˆå¤§èª¤å·®ï¼šå¦‚果被測體å˜åœ¨æŒ¯å‹•(dòng)é »çŽ‡20HZ,振幅1mm,如果信號(hà o)ä¸åŒæ¥å»¶é²1ms,那么就會(huì)帶來125µm誤差。
安è£å…©å€‹(gè)激光åŒè»¸ç¤ºæ„圖:
安è£ä½¿å…©å€‹(gè)激光åŒè»¸ï¼Œä¸ä½†ç¢ºä¿è¢«æ¸¬é«”åŒä¸€ä½ç½®ä¸Šçš„åŽšåº¦ï¼ŒåŒæ™‚(shÃ)é™ä½Žäº†è¢«æ¸¬é«”傾斜帶來的誤差。以被測體é‹(yùn)å‹•(dòng)æ–¹å‘ä¸åŒè»¸ç‚ºä¾‹ï¼Œç•¶(dÄng)ä¸åŒè»¸1mm,被測體傾斜2°å¯å¸¶ä¾†35µm誤差。