䏿˜Ÿæ¸¬æŽ§MEMS陀螺在åŠè‰™ç©©(wÄ›n)定系統(tÇ’ng)ä¸çš„æ‡‰(yÄ«ng)用
時(shÃ)間:2009-09-29 10:59:49來æºï¼šronggang
å°Ž(dÇŽo)語:?è¥¿å®‰ä¸æ˜Ÿæ¸¬æŽ§æœ‰é™å…¬å¸è‡ªè¡Œç ”制生產(chÇŽn)çš„CS-ARS-12ã€CS-ARS-14高精度系列MEMSè§’é€ŸçŽ‡é™€èžºå„€ï¼Œé‡‡ç”¨å£“é›»çŸ³è‹±ææ–™åšæˆæ•感元件,性能穩(wÄ›n)定ã€ä½¿ç”¨å£½å‘½é•·ï¼Œç²¾åº¦å¯æ»¿è¶³æˆ°(zhà n)è¡“(shù)ç´šæ¦å™¨ç³»çµ±(tÇ’ng)使用
  飛機(jÄ«)è¦åœ¨ç©ºä¸å®Œæˆå°ç›®æ¨™(biÄo)的探測和跟蹤任務(wù),需è¦ä¸€å€‹(gè)機(jÄ«)載的平臺和æè¼‰ä¸€å€‹(gè)在該平臺上有探測è¨(shè)備組æˆçš„集æˆç³»çµ±(tÇ’ng),在硬件表ç¾(xià n)å½¢å¼ä¸Šç¨±ä¹‹ç‚ºâ€œåŠè‰™â€ï¼Œ 廣泛應(yÄ«ng)用于é‹(yùn)å‹•(dòng)飛機(jÄ«)ç«åŠ›æŽ§åˆ¶ç³»çµ±(tÇ’ng)ã€å…‰é›»åµæŸ¥ç³»çµ±(tÇ’ng)ä¸ã€‚æ ¹æ“š(jù)å…§(nèi)ç½®è¨(shè)備的功能,機(jÄ«)載åŠè‰™å¯ä»¥åˆ†ç‚ºå°Ž(dÇŽo)航åŠè‰™ã€çž„準(zhÇ”n)åŠè‰™ã€ç´…外測é‡åŠè‰™ã€é›»å干擾åŠè‰™åŠé›»åæƒ…å ±(bà o)åŠè‰™ç‰ã€‚
  機(jÄ«)載光電åŠè‰™è¿‘10年來在國外發(fÄ)展很快,特別是在åµå¯Ÿå‘Šè¦ã€ç›®æ¨™(biÄo)æŒ‡ç¤ºã€æŽ§åˆ¶çž„æº–(zhÇ”n)和導(dÇŽo)èˆªè·Ÿè¹¤ç‰æ–¹é¢å¾—到廣泛地é‡è¦–ã€‚ç›®å‰æ©Ÿ(jÄ«)載åŠè‰™é™¤ç”¨äºŽæ¦è£åµå¯Ÿç›´å‡æ©Ÿ(jÄ«)ã€ç„¡äººåµå¯Ÿæ©Ÿ(jÄ«)外,還å¯ç”¨äºŽç›®æ¨™(biÄo)特性測é‡ã€å…‰é›»åˆ¶å°Ž(dÇŽo)æ¦å™¨æ¨¡æ“¬ç‰æ–¹é¢ï¼Œåœ¨é›»åŠ›å·¡ç·šã€æµ·ä¸Šç·ç§ã€ç’°(huán)ä¿ç›£(jiÄn)æ¸¬ç‰æ°‘用方é¢ä¹Ÿæœ‰å»£æ³›çš„æ‡‰(yÄ«ng)用。
  為了實(shÃ)ç¾(xià n)在機(jÄ«)載環(huán)境下迅速æ•ç²ã€è·Ÿè¹¤ã€çž„準(zhÇ”n)é‹(yùn)å‹•(dòng)的目標(biÄo)ï¼Œé€™å°±å¿…é ˆå»ºç«‹é™€èžºç©©(wÄ›n)定系統(tÇ’ng)。åŠè‰™é™€èžºç©©(wÄ›n)定系統(tÇ’ng)的作用就是快速而準(zhÇ”n)確地跟蹤目標(biÄo)ï¼Œéš”é›¢è¼‰é«”çš„æ–æ“ºã€‚系統(tÇ’ng)框圖如圖1所示。
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圖1 åŠè‰™é™€èžºç©©(wÄ›n)定系統(tÇ’ng)框圖[/align]
  åŠè‰™é™€èžºç©©(wÄ›n)定系統(tÇ’ng)通常采用雙軸陀螺穩(wÄ›n)定平臺方案,çµ(jié)æ§‹(gòu)示æ„如圖2。其ä¸ä¸»é«”儀器是兩軸支æ’的常平架çµ(jié)æ§‹(gòu),內(nèi)ç’°(huán)(俯仰環(huán))用于安è£å…‰é›»è¼‰è·ï¼Œå¤–ç’°(huán)(方ä½ç’°(huán))垂直安è£åœ¨åŸºåº§ä¸Šã€‚å…©ç’°(huán)的轉(zhuÇŽn)å‹•(dòng)軸æ£äº¤ï¼Œå¤–ç’°(huán)å¯ä½œ360°連續(xù)轉(zhuÇŽn)å‹•(dòng)。兩環(huán)上分別安è£ä¸€åªå–®è‡ªç”±åº¦é™€èžºå„€ï¼Œé€šéŽéŽ–å®šå›žè·¯æ§‹(gòu)æˆé€ŸçŽ‡é™€èžºï¼Œç”¨ä»¥æ¸¬é‡å…©ç’°(huán)軸的轉(zhuÇŽn)å‹•(dòng)角速度。光電載è·å®‰è£åœ¨ç©©(wÄ›n)定平臺上,通éŽé™€èžºç©©(wÄ›n)定平臺隔離載機(jÄ«)的振動(dòng),ç²å¾—ç›¸å°æ…£æ€§ç©ºé–“ç©©(wÄ›n)定的平臺空間,并且在控制指令的驅(qÅ«)å‹•(dòng)下,實(shÃ)ç¾(xià n)光電載è·å°ç›®æ¨™(biÄo)çš„æœç´¢ã€æ•ç²ã€è·Ÿè¹¤å’Œå®šä½ã€‚å› æ¤æ©Ÿ(jÄ«)載陀螺穩(wÄ›n)定平臺實(shÃ)ç¾(xià n)兩大功能:一是空間穩(wÄ›n)å®šï¼ŒäºŒæ˜¯èƒ½å¤ è·Ÿè¹¤ç›®æ¨™(biÄo)。
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圖2 雙軸陀螺穩(wÄ›n)定平臺çµ(jié)æ§‹(gòu)示æ„圖[/align]
  MEMS(mi-cro-electro-mechanical system)技術(shù)是近年來發(fÄ)å±•èµ·ä¾†çš„ä¸€é …(xià ng)新興技術(shù),它將微型機(jÄ«)械技術(shù)å’Œå¾®é›»åæŠ€è¡“(shù)相çµ(jié)åˆï¼Œç”¢(chÇŽn)生了以微型化ã€é›†æˆåŒ–和電å化為主è¦ç‰¹å¾çš„微機(jÄ«)電系統(tÇ’ng)。MEMS陀螺就是一種典型的微機(jÄ«)電系統(tÇ’ng),與傳統(tÇ’ng)的機(jÄ«)械,激光以åŠå…‰çº–陀螺相比,MEMSé™€èžºå› å…¶é«”ç©å°ã€è³ª(zhì)é‡è¼•ã€åŠŸè€—å°ã€æˆæœ¬ä½Žã€çž¬é–“啟動(dòng)åŠæŠ—æ²–æ“ŠåŠ›å¼·(qiáng)ç‰ç‰¹é»ž(diÇŽn),特別é©åˆæ–°åž‹åŠè‰™ç©©(wÄ›n)定平臺的使用。
  作為伺æœç©©(wÄ›n)定跟蹤系統(tÇ’ng)的速度環(huán)æ•æ„Ÿå™¨ä»¶ï¼ŒMEMS陀螺感å—載體在慣性空間的擾動(dòng)é‡ï¼Œå¹¶è¼¸å‡ºèˆ‡è§’é€Ÿåº¦æˆæ¯”ä¾‹çš„é›»å£“ä¿¡è™Ÿï¼Œé€šéŽæŽ§åˆ¶å™¨è¼¸å‡ºé©…(qÅ«)å‹•(dòng)電機(jÄ«)å°æ¡†æž¶æ–½åР䏀個(gè)與擾動(dòng)力矩大å°ç›¸ç‰ã€æ–¹å‘相å的平衡力矩,使系統(tÇ’ng)隔離載體在慣性空間的擾動(dòng)ã€‚åŒæ™‚(shÃ),速度環(huán)åé¥‹æŽ§åˆ¶èƒ½å¤ æé«˜ç³»çµ±(tÇ’ng)ä½ç½®ç’°(huán)響應(yÄ«ng)çš„é »å¸¶ï¼Œå¢žåŠ ä½ç½®ç’°(huán)響應(yÄ«ng)的快速性,從而實(shÃ)ç¾(xià n)光電探測器或æˆåƒç³»çµ±(tÇ’ng)的穩(wÄ›n)定和快速跟蹤。為使MEMS陀螺ç²å¾—更好的應(yÄ«ng)用,通éŽé‡‡ç”¨å°é™€èžºé€²(jìn)行溫度補(bÇ”)償ã€å™ªè²æŠ‘制ã€ä¿¡è™Ÿæ¿¾æ³¢ç‰ç³»çµ±(tÇ’ng)控制技術(shù),å¯ä»¥ä½¿é‡‡ç”¨MEMS陀螺作為速度å饋器件的光電穩(wÄ›n)定跟蹤平臺ç²å¾—更高精度。
ã€€ã€€è¥¿å®‰ä¸æ˜Ÿæ¸¬æŽ§æœ‰é™å…¬å¸è‡ªè¡Œç ”制生產(chÇŽn)çš„CS-ARS-12ã€CS-ARS-14高精度系列MEMSè§’é€ŸçŽ‡é™€èžºå„€ï¼Œé‡‡ç”¨å£“é›»çŸ³è‹±ææ–™åšæˆæ•感元件,性能穩(wÄ›n)定ã€ä½¿ç”¨å£½å‘½é•·ï¼Œç²¾åº¦å¯æ»¿è¶³æˆ°(zhà n)è¡“(shù)ç´šæ¦å™¨ç³»çµ±(tÇ’ng)使用,目å‰å»£æ³›æ‡‰(yÄ«ng)用于慣性測é‡è£ç½®ã€é«˜å¯é 性的汽車電åã€å°Ž(dÇŽo)彈制導(dÇŽo)和控制ã€é£›è¡Œå™¨ç©©(wÄ›n)定控制ã€å¤©ç·šç©©(wÄ›n)å®šã€æ”åƒã€æ•¸(shù)碼æ”å½±ã€æ©Ÿ(jÄ«)器人ç‰ç³»çµ±(tÇ’ng)。
  其ä¸ï¼ŒCS-ARS-12角速率陀螺儀已æˆåŠŸç”¨äºŽæŸåž‹æ°‘ç”¨ç›´å‡æ©Ÿ(jÄ«)åŠè‰™é™€èžºç©©(wÄ›n)定觀測系統(tÇ’ng),該åŠè‰™é™€èžºç©©(wÄ›n)定系統(tÇ’ng)指標(biÄo)如下:
  穩(wěn)定精度: 50μrad
  工作范åœï¼š 俯仰-120°~+15°,方ä½360°
  最大轉(zhuǎn)動(dòng)角速率: 60°/s
  最大轉(zhuÇŽn)å‹•(dòng)è§’åŠ é€Ÿåº¦ï¼š 200°/s2
  CS-ARS-12è§’é€ŸçŽ‡é™€èžºå„€ä¸»è¦æŠ€è¡“(shù)指標(biÄo)如下:
  輸入電壓 DC +10V±0.25V
ã€€ã€€è¼¸å…¥é›»æµ â‰¤16 mA
  測é‡èŒƒåœ ±100°/s
  零å 5±0.2 V
  標(biÄo)åº¦å› æ•¸(shù) 35±3 mV/ °/s
  éžç·šæ€§åº¦ ≤0.05%(FS)(典型)
  分辨率 ≤0.009 °/s
  帶寬 >50 Hz
  啟動(dòng)時(shÃ)é–“ <2 s
  零åç©©(wÄ›n)定性 <0.015°/s
ã€€ã€€é›¶åæº«æ¼‚ 1.5°/s
  溫度傳感器輸出(at 0℃) 0.424 V(典型)
ã€€ã€€æº«åº¦å‚³æ„Ÿå™¨åˆ»åº¦å› å 6.25 mV/℃
  使用溫度 -40℃~+85℃
ã€€ã€€å„²å˜æº«åº¦ -55℃~+100℃
ã€€ã€€è€æ²–擊 500g(2ms)
  隨機(jī)振動(dòng) 5g(rms, 20Hz-2kHz)
  é‡é‡ 45å…‹
  外形尺寸 如下圖
  

  æ¤å¤–,公å¸ç‚ºä¸èˆªæŸç ”ç©¶æ‰€ç ”åˆ¶é…套的CS-ARS-14角速率陀螺儀也已æˆåŠŸæ‡‰(yÄ«ng)用于æŸåž‹æ©Ÿ(jÄ«)載光電åŠè‰™è¨(shè)å‚™ä¸ã€‚
  CS-ARS-14角速率陀螺儀采用雙電æºä¾›é›»ï¼Œè§’速率輸出信號å¯é¸ç”¨å–®ç«¯æˆ–差分輸出,通éŽå¢žåŠ æº«åº¦è£œ(bÇ”)å„ŸæŽªæ–½ï¼Œä½¿å…¶å…·æœ‰è¼¸å‡ºéˆæ•åº¦é«˜ã€æº«åº¦æ¼‚ç§»å°ç‰ç‰¹é»ž(diÇŽn)ï¼Œä¸»è¦æŠ€è¡“(shù)指標(biÄo)如下:
  輸入電壓 DC ±12V~±15V
ã€€ã€€è¼¸å…¥é›»æµ â‰¤20 mA
  測é‡èŒƒåœ ±100°/s
  åç½® ±0.15°/s
  å置溫漂 ±0.15°/s(全溫å€(qÅ«)最大å差)
  å置穩(wÄ›n)定性 0.02°/s
  標(biÄo)åº¦å› æ•¸(shù) 50 ±0.5 mV / °/s(單端輸出)
  100 mV / °/s(差分輸出)
  標(biÄo)åº¦å› æ•¸(shù)溫漂 ≤0.5%(全溫å€(qÅ«)最大å差)
  éžç·šæ€§åº¦ ≤0.1%(FS)
  分辨率 ≤0.01°/s
ã€€ã€€è¼¸å‡ºå™ªè² <0.02°/s/√Hz
  géˆæ•度 <0.05°/s/g
  帶寬 60 Hz
  啟動(dòng)時(shÃ)é–“ <0.5 s
  使用溫度 -40℃~+70℃
ã€€ã€€å„²å˜æº«åº¦ -55℃~+100℃
ã€€ã€€è€æ²–擊 500g(2ms)
  隨機(jī)振動(dòng) 5g(rms, 20Hz-2kHz)
  é‡é‡ 60å…‹
  外形尺寸 如下圖
