電容式傳感器是將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉換成電容量變化的--種傳感器。

1．工作原理

由物理學可知，兩個平行金屬極板組成的電容器，如果不考慮其邊緣效應，其電容為

C=(s/d

式中ε--兩個極板間介質的介電常數；

s--兩個極板相對有效面積；

d--兩個極板間的距離

—真空的介電常數，

=8.854×10-12F/m；

ε—極板間介質的相對介電系數，在空氣中，ε=1；

S—極板的遮蓋面積（m2）；

δ—兩平行極板間的距離（m)。

上式表明，當被測量δ、S或ε發生變化時，會引起電容的變化。如果保持其中的兩個參數不變，而僅改變另一個參數，就可把該參數的變化變換為單一電容量的變化，再通過配套的測量電路，將電容的變化轉換為電信號輸出。根據電容器參數變化的特性，電容式傳感器可分為極距變化型、面積變化型和介質變化型三種，其中極距變化型和面積變化型應用較廣。

由上式可知，改變電容C的方法有三種，其一為改變介質的介電常數ε；其二為改變形成電容的有效面積；其三為改變兩個極板間的距離。而得到電參數的輸出為電容值的增量ΔC，這就成了電容式傳感器。

2．類型

根據上述原理，在應用中電容式傳感器可以有三種基本類型，即變極距（或稱變間隙）型、變面積型和變介電常數型。它們的電極形狀有平板形、圓柱形和球平面形三種。

a）極距d變化型

d0小，大。但d0過小，易引起擊穿或短路。可采用高介電常數的材料（如云母等）作介質。

一般C0=20~100pF，d0=25~200μm，

微位移測量

b）面積變化型

c）介質變化型