時間:2017-11-15 13:28:15來源:網絡轉載
行程:690×1,550mm
尺寸:1,600×1,660mm
定位時間:400msec
最高速度:500mm/sec
真直度(垂直/水平)
X軸:±1.2μm、±1.13μm
Y軸:±2μm、±0.63μm
速度穩定性:±0.1%(35mm/sec時)
采樣周波數:100Hz
標簽:
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