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安赫高相(JDS)直線電機+DD馬達XYθ平臺應用于液晶制造裝置

時間:2017-11-15 13:28:15來源:網絡轉載

導語:?高相(JDS)直線電機+DD馬達XYθ平臺應用于液晶制造裝置

行程:690×1,550mm

尺寸:1,600×1,660mm

定位時間:400msec

最高速度:500mm/sec

真直度(垂直/水平)

X軸:±1.2μm、±1.13μm

Y軸:±2μm、±0.63μm

速度穩定性:±0.1%(35mm/sec時)

采樣周波數:100Hz

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