MEMS是指可批量制作的，將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統。

用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產等特點。同時，MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數，將其轉換成方便度量的信號；而且能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。

1980年，第一個MEMS傳感器推出，重量、濕度、加速度計、壓力、麥克風等MEMS傳感器不斷出現，其種類繁多，一般分為MEMS物理傳感器、化學傳感器、生物傳感器三大類。詳見下圖：