采用單軸和多軸裝置進行激光打標

　　對復雜或高價值的結構進行打標是多軸定位系統的應用之一。例如，人眼無法識別的不可見標記可通過激光被雕刻在物品上。工件在X、Y向上的運動以及激光物鏡在Z向上定位是通過使用高動態直接驅動線性平臺來實現的。PI V-528線性平臺采用傳統的基于步進或旋轉伺服的解決方案，實現盡可能更高的速度和掃描頻率。平臺具有交叉滾柱軸承，所以采用配備高重復精度及高精度的線性編碼器的電機可實現亞微米精度。

　　例如，PI V-417/V-817系列的平臺也非常適用于激光加工應用。這些平臺的定位精度只有幾微米，速度高達2米/秒。它們可實現輕松組合，以用于多軸應用。

　　硬蓋和側密封經過特殊設計，可防止灰塵或灼熱顆粒進入驅動和編碼器機械部件。高防護等級工業連接器和卡銷實現更高穩健性。由于特殊成形邊緣與軸承導向或運動方向的平行度(//)優于50微米，因此線性平臺在安裝過程中可輕松對準。

　　改進后的 V-528 線性平臺帶重力補償，用于垂直使用

　　高性能穩健型 V-417/V-817 線性平臺的 XY 配置

　　采用平面掃描器進行晶圓切片

　　分離晶圓模具也取決于高精度。切割寬度必須保持不變，且垂直交叉不可避免。此外，為了在切割過程中不損壞單個模具，絕對精度也十分重要。行程范圍內的允許公差僅為每米幾微米。

　　PI A-322空氣軸承平臺由線性電機直接驅動進行移動，是非常適用于此類應用的定位系統。此類系統可以實現較高的速度，加速度為20米/平方秒。 同時，正弦換向控制可以實現平滑運動和幾納米的定位。控制和機械部件相結合的方式可確保最大的吞吐量和最高的精度。

　　A-322 空氣軸承平臺

     采用龍門系統制造模版和印刷電路板

　　模版和印刷電路板的生產加工要求是相似的。工件大小和特征密度可能相對較高。這其中的挑戰是要在提供長行程的同時保持微米精度。龍門系統可以針對這些要求提供很好的解決方案。電纜管理和操作均進行了優化，以適合于垂直運動軸、自動聚焦傳感器和用于激光的光纖路由系統。這種設計可以實現當激光從上空移動時零件保持不動。由PI實現的絕對測量系統使得啟動后無需再找參考位，從而簡化了系統初始化。

　　采用包含振鏡掃描器的多軸裝置進行激光

　　V-731 系列定位平臺

　　打標

　　在激光成型中，配備振鏡掃描器的多軸定位系統通常會被用于偏轉激光束。這就能實現很好的動態和精度，例如對于在功能部件上刻寫刻度等。這么一來，XY向運動就由 V-731系列定位平臺接管，該平臺被設置為XY向滾動平臺。它的線性電機無需其他附加機械部件，可直接驅動平臺，使得高速度成為可能。

　　高性能運動控制系統

　　在上述激光加工流程中，激光可通過特殊的激光模塊直接從運動平臺上進行便捷控制。該模塊可實現對激光源的直接控制，以提高流程的精度和吞吐量。

　　ACS的LCM(激光控制模塊)系列的EtherCAT?從站 模塊提供多種功能，包括用于動態功率控制、輸出脈沖或選通信號(開關信號)的數字脈沖調制，其中后兩者與沿二維至六維運動路徑的位置或可編程操作區保持同步?？刂颇K可以通過通用接口控制幾乎任何激光。

　　EtherCAT?是一種基于以太網的開放式現場總線系統，最初是由倍福自動化公司開發的?，F如今，作為一款用于機器控制解決方案的穩健型高速實時網絡，EtherCAT 越來越受到控制和系統工程師的歡迎，現場總線系統的靈活性是一大原因。

　　無拼接的大區域打標

　　通常，采用振鏡掃描器的運動系統的操作是在掃描器下移動待加工的零件、將控制交給掃描器控制器來執行其單獨操作。如果待加工區域大于掃描器的視場，則以被稱為“耕耘”的方式執行上述方法。如果大面積內有很多小細節，則這種方式無法實現有效打標。小細節可能需要較高的加速度，而大細節則需要更長的行程。采用快速靈活的振鏡用于分離軌跡的小特征，而相對較慢的大型運動系統平臺用于處理大特征，這樣可能更有利。這么一來，兩種系統需為同步的控制器架構，以將合適的輸出供給正確的運動平臺。

　　XLSCAN 由ACS運動控制和SCANLAB提供技術支持，XLSCAN運動和龍門控制系統可實現大面積打標和加工。通過同步控制和移動二維掃描頭以及配備高動態磁性線性驅動的二維掃描平臺，XL掃描解決方案擴展了激光掃描系統的工作區域，組合系統可實現大面積有效打標，且吞吐量和精度都很高。