時間:2022-10-13 14:02:54來源:機器人在線
在當今快節奏的人類社會中,由于科學和工程技術的快速發展,對不同尺寸的經典物理量在不同工業技術應用中的應用要求進行了監控。壓阻式壓力傳感器由單晶硅的壓阻效應組成。以單晶硅芯片為彈性元件,在單晶硅膜上采用集成電路工藝,沿單晶硅的特定方向擴散一組等效電阻,將電阻連接成電橋,將單晶硅片放入傳感器腔中。當壓力變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散到其上的應變電阻與測量壓力成正比,然后橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。壓力傳感器結構及特點?
一、壓力傳感器結構
壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻片集成到單晶硅薄膜上,制成硅壓阻芯片,并將芯片固定在外殼中引出電極線。壓阻式壓力傳感器又稱固體壓力傳感器,與粘貼式應變計不同。它需要通過彈性傳感元件間接感受外力,但通過硅膜直接感受被測壓力。
測量中的所謂“壓力”是物理學中的“壓力”,它是反映物質狀態的一個重要參數。在壓力測量中,有表面壓力、絕對壓力(絕對壓力)、負壓和真空度。工業上使用的壓力指示值大多是表面壓力,即絕對壓力和大氣壓力之間的差值。因此,絕對壓力是表面壓力和大氣壓力的總和。如果測量壓力低于大氣壓力,則稱為負壓或真空度。
在工作原理上,壓力測量傳感器分為壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器,壓磁式壓力傳感器和電容式壓力傳感器以及霍爾壓力表等。
壓阻式傳感器是利用半導體材料的壓阻效應,在半導體材料襯底上擴散電阻而制成的器件。基板可以直接用作測量傳感器元件,擴散電阻連接到基板中的電橋中。
當基板因外力而變形時,電阻值會發生變化,電橋也會產生相應的不平衡輸出。用作壓阻傳感器的襯底(或薄膜)主要是硅芯片和鍺芯片。以硅芯片為敏感材料的硅壓阻傳感器越來越受到人們的關注,特別是用于測量壓力和速度的固態壓阻傳感器。
二、壓力傳感器特點
1.高頻響應,f0高達1.5M;
2.體積小、功耗低;
3.靈敏度高,準確度好,可測量0.1%的準確度;
4.無活動部件(敏感部件與轉換部件集成)。
壓力傳感器結構及特點?對于傳感器企業來說,機遇與挑戰并存,更多的中國傳感器企業正朝著正確的方向前進。隨著工業物聯網和智能制造的進步,我相信會出現更多優秀的國產傳感器企業和產品。
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