摘 要：介紹了一種基于懸浮轉子微陀螺的雙定子軸向靜電微電機控制系統的信號檢測方法，它對實現懸浮轉子旋轉驅動的閉環控制尤為重要，其主要特點是采用互相關檢測一鎖定放大、DSP控制直接數字頻率合成（DDS）產生正弦波，并通過實際正弦波發生電路和系統仿真驗證其可行性，這些提供了解決微小電容檢測在實際電路實現上的一些關鍵問題的辦法，為實際電路參數選擇提供重要參考。 關鍵字：靜電微電機 互相關檢測 直接數字頻率合成 鎖定放大 0 引言 　　微電機作為微機電系統（MEMS）主要動力源和關鍵執行部件，兼有驅動和精密控制雙重功能，在微小機器人的關節驅動、微小光盤、磁盤驅動、微慣性器件及微小航天儀器中有廣泛的應用前景，其研究是MEMS研究熱點之一[1,2]。微電機的主要驅動方式[2]有靜電式、電磁式、超磁致伸縮式、壓電式、形狀記憶合金式等。 　　靜電電機從運行方式來分可分為直線型和旋轉型。旋轉型靜電電機又可以分為軸向驅動型、側驅動型與擺動型[2]。靜電電機的運行原理[1]有2種：一種是利用介電馳豫原理，另一種是利用電容可變原理。本文的研究對象是基于懸浮轉子微陀螺的雙定子靜電微電機，屬軸向驅動型變電容同步靜電微電機。 1 靜電微電機結構 　　如圖1所示，靜電微電機的結構包括上定子、凸極轉子和下定子，在上、下定子表面均分布有公共電容極板、力矩反饋電容極板與旋轉電容極板。 　　詳情請點擊：雙定子靜電微電機控制系統的信號檢測研究