1 引言
隨著電åçµ„è£æŠ€è¡“çš„ä¸æ–·ç™¼å±•,電åè¨å‚™çš„é«”ç©è¶¨äºŽå¾®åž‹åŒ–,系統趨于復雜化,高熱密度æˆäº†ä¸€è‚¡ä¸å¯æŠ—æ‹’çš„ç™¼å±•è¶¨å‹¢ã€‚ç‚ºäº†é©æ‡‰é«˜ç†±å¯†åº¦çš„éœ€æ±‚ï¼Œé¢¨æ‰‡ã€æ•£ç†±å™¨ç‰å‚³çµ±çš„æ•£ç†±æ‰‹æ®µä¸æ–·æŽ¨é™³å‡ºæ–°ï¼Œæ–°ç©Žé«˜æ•ˆçš„æ•£ç†±æ–¹æ³•層出ä¸çª®ã€‚在眾多散熱方å¼é¢å‰ï¼Œå€åˆ†å„種散熱方å¼çš„æ•£ç†±èƒ½åŠ›ï¼Œå¾žè€Œé¸æ“‡æ—¢ç¶“濟åˆå¯é 的散熱方法æˆç‚ºè¨è¨ˆäººå“¡æ¥µç‚ºé—œæ³¨çš„å•題。本文é‡å°é¢¨å†·å’Œæ°´å†·å…©ç¨®å¸¸ç”¨çš„æ•£ç†±æ–¹å¼ï¼Œç¶œåˆåœ‹å…§å¤–æ–‡ç»ä¸å°é€™å…©ç¨®æ•£ç†±æ–¹å¼çš„ç ”ç©¶çµæžœï¼Œç¸½çµå‡ºé€™å…©ç¨®æ•£ç†±æ–¹å¼çš„æ•£ç†±èƒ½åŠ›ï¼Œç‚ºç†±è¨è¨ˆäººå“¡é¸æ“‡ç¶“濟åˆç†çš„æ•£ç†±æ–¹å¼æä¾›åƒè€ƒä¾æ“šã€‚
2 å„種傳熱方å¼çš„傳熱能力分æž
å„種傳熱方å¼å‚³ç†±ç³»æ•¸çš„大致范åœå¦‚附表所示[1]。å°ç©ºæ°£è€Œè¨€ï¼Œè‡ªç„¶é¢¨å†·æ™‚的傳熱系數是很低的,最大為10w/(m2k),如果散熱器表é¢èˆ‡ç©ºæ°£çš„æº«å·®ç‚º50℃,æ¯å¹³æ–¹åŽ˜ç±³æ•£ç†±é¢ç©ä¸Šç©ºæ°£å¸¶èµ°çš„ç†±é‡æœ€å¤šç‚º0.05wã€‚å‚³ç†±èƒ½åŠ›æœ€å¼·çš„å‚³ç†±æ–¹å¼æ˜¯å…·æœ‰ç›¸è®Šçš„æ›ç†±éŽç¨‹ï¼Œæ°´çš„相變éŽç¨‹æ›ç†±ç³»æ•¸çš„é‡ç´šç‚º103~104ã€‚ç†±ç®¡çš„å‚³ç†±èƒ½åŠ›ä¹‹æ‰€ä»¥å¾ˆå¤§ï¼Œå°±æ˜¯å› ç‚ºå…¶è’¸ç™¼æ®µå’Œå†·å‡æ®µçš„傳熱éŽç¨‹éƒ½æ˜¯ç›¸è®Šå‚³ç†±ã€‚
æ–‡ç»[2]çµ¦å‡ºäº†æ ¹æ“šæ•£ç†±é«”ç©å’Œç†±é˜»é¸æ“‡æ•£ç†±æ–¹å¼çš„åƒè€ƒä¾æ“šï¼Œå¦‚圖1所示。例如å°äºŽç†±é˜»è¦æ±‚為0.01℃/w的散熱方å¼ï¼Œå¦‚果體ç©é™åˆ¶åœ¨1000 in3(1in3=16.4cm3),å¯ä»¥é¸æ“‡é¢¨å†·æ•£ç†±æ–¹å¼ï¼Œä½†å¿…é ˆé…備高效的風冷散熱器;而如果體ç©é™åˆ¶åœ¨10 in3,åªèƒ½é¸æ“‡æ°´å†·çš„æ•£ç†±æ–¹å¼ã€‚
3 風冷
é¢¨å†·æ•£ç†±æ–¹å¼æˆæœ¬ä½Žï¼Œå¯é 性高,但由于散熱能力å°ï¼Œåªé©ç”¨äºŽæ•£ç†±åŠŸçŽ‡å°è€Œæ•£ç†±ç©ºé–“大的情æ³ä¸‹ã€‚ç›®å‰é¢¨å†·æ•£ç†±å™¨çš„ç ”ç©¶ç†±é»žæ˜¯å°‡ç†±ç®¡èˆ‡æ•£ç†±å™¨ç¿…ç‰‡é›†æˆåœ¨ä¸€èµ·ï¼Œåˆ©ç”¨ç†±ç®¡çš„高傳熱能力,將熱é‡å‡å‹»åœ°å‚³è¼¸åˆ°ç¿…片表é¢ï¼Œæé«˜ç¿…ç‰‡è¡¨é¢æº«åº¦çš„å‡å‹»æ€§ï¼Œé€²è€Œæé«˜å…¶æ•£ç†±æ•ˆçŽ‡ã€‚
ç©ºæ°£å¼·åˆ¶å°æµå†·å»æ–¹å¼æ˜¯ç›®å‰é›»åЛ電å元件常用的散熱方å¼ï¼Œå…¶æ™®é€šçµæ§‹æ˜¯æ•£ç†±å™¨åŠ é¢¨æ‰‡çš„å½¢å¼ã€‚è©²çµæ§‹é›–ç„¶å¯¦æ–½æ–¹ä¾¿ï¼Œæˆæœ¬è¼ƒä½Žï¼Œä½†å…¶æ•£ç†±èƒ½åŠ›æœ‰é™ã€‚以intel pentium 4 cpu(2.2ghz)的冷å»ç‚ºä¾‹ä¾†èªªæ˜Žæ™®é€šé¢¨å†·çµæ§‹çš„æ•£ç†±èŒƒåœã€‚該cpu發熱é‡ç´„為55w,表é¢è¨±å¯æº«åº¦ç‚º70℃,芯片尺寸為12×12.5×1.5mm,熱擴散銅æ¿å°ºå¯¸ç‚º31×31mm [3]ã€‚æ•£ç†±å™¨åŠ é¢¨æ‰‡çš„é™åˆ¶å®‰è£ç©ºé–“為80×60×50mm。manish sainiå°è©²ç¨®æƒ…æ³ä¸‹æ™®é€šé¢¨å†·çµæ§‹çš„æœ€å¤§æ•£ç†±é‡åšäº†å¯¦é©—ç ”ç©¶[4]。采用icepak模擬表明,31×31mm熱擴散銅æ¿çš„熱阻和16×16mm的銅æ¿å‡å‹»åŠ ç†±æ™‚çš„ç†±é˜»ç›¸ç‰ã€‚實驗方法是以一塊é¢ç©ç‚º16×16mmã€å‡å‹»åŠ ç†±çš„éŠ…æ¿ç‚ºç†±æºï¼Œé‡‡ç”¨æ™®é€šæ•£ç†±çµæ§‹ã€‚ç ”ç©¶çµæžœè¡¨æ˜Žï¼Œç•¶cpuçš„è¡¨é¢æº«åº¦ç‚º70℃,周åœç©ºæ°£æº«åº¦ç‚º35℃,在80×60×50mmçš„æ•£ç†±ç©ºé–“å…§ï¼Œé¢¨æ‰‡é‡‡ç”¨é ‚å¹å½¢å¼æ™‚最大散熱é‡ç‚º89.4w,采用å´å¹å½¢å¼æ™‚最大散熱é‡ç‚º78.2wã€‚æ ¹æ“šè©²å¯¦é©—æ•¸æ“šåˆ†æžï¼Œé¢¨æ‰‡é ‚广™‚的熱æºçš„æœ€å¤§ç†±æµå¯†åº¦ç‚º34.9w/cm2,å´å¹æ™‚熱æºçš„æœ€å¤§ç†±æµå¯†åº¦ç‚º30.5w/cm2。
ç‚ºäº†ä½¿é¢¨å†·ç³»çµ±é©æ‡‰é«˜ç†±å¯†åº¦æ•£ç†±çš„æ–°è¦æ±‚,熱è¨è¨ˆäººå“¡é€šéŽæ”¹è®Šé›»å元器件的å°è£æŠ€è¡“和形å¼ã€è¨è¨ˆæ–°åž‹çš„風冷è£ç½®ä½¿é¢¨å†·ç³»çµ±å…·æœ‰æ›´å»£é—Šçš„é©ç”¨èŒƒåœã€‚在改變å°è£å½¢å¼æ–¹é¢ï¼Œé‡‡ç”¨åŸºç‰‡åœ¨ä¸Šçš„倒å°è£æŠ€è¡“åˆ¶é€ çš„å€’è£èŠ¯ç‰‡ï¼ˆflip chip)ã€ç›´æŽ¥åˆ©ç”¨å°åˆ¶é›»è·¯æ¿åšåŸºé«”çš„çƒæŸµåˆ—陣(bgaï¼‰ç‰æ‰‹æ®µéƒ½æé«˜äº†å°è£æ¨¡å¡Šçš„æ•£ç†±æ€§èƒ½ã€‚在新型風冷è£ç½®çš„è¨è¨ˆä¸Šï¼Œralph l.webb,shinnobu yamauchi[5]ç‰äººç‚ºé›»è…¦çš„cpuè¨è¨ˆäº†ä¸€ç¨®å為風冷熱虹器的散熱è£ç½®ï¼ˆair-cooled thermosyphonï¼‰ï¼Œå…¶çµæ§‹å¦‚圖2所示。該è£ç½®ç”±ç†±è™¹å¸å™¨å’Œæ•£ç†±ç‰‡çµ„æˆï¼Œç†±è™¹å¸å™¨çš„ç®¡æ®¼ææ–™ç‚ºé‹ï¼Œå·¥è³ªç‚ºr134a,散熱片的迎風é¢ç©ç‚º75×90mm (16mmå¯¬ï¼‰ã€‚å¯¦é©—æ–¹æ³•ä»æ˜¯å°ä¸€å¡Š16×16mm的銅æ¿å‡å‹»åŠ ç†±ï¼Œå¯¦é©—çµæžœè¡¨æ˜Žï¼Œcpuè¡¨é¢æº«åº¦åœ¨è¨±å¯èŒƒåœå…§æ™‚ï¼ŒéŠ…æ¿æœ€å¤§åŠ ç†±å¯†åº¦ç‚º39w/cm2,å³é‡‡ç”¨è©²è£ç½®èƒ½å¾žcpu上帶走100w的熱é‡ï¼Œé€™æ˜¯ç›®å‰å ±é“的散熱能力最大的風冷è£ç½®ã€‚該è£ç½®çš„ç¼ºé™·æ˜¯å®‰è£æ–¹ä½åªèƒ½å–豎直方å‘ï¼Œå› ç‚ºç†±è™¹å¸å™¨å…§æ²’有芯體,液體åªèƒ½ä¾é é‡åŠ›å›žåˆ°åŠ ç†±è¡¨é¢ã€‚

ç¶œåˆä»¥ä¸Šåˆ†æžï¼Œå¦‚果以散熱器底é¢ç†±æºçš„å‡å‹»ç†±æµä½œç‚ºé¢¨å†·è£ç½®æ•£ç†±èƒ½åŠ›çš„æ¨™æº–ï¼Œç•¶å—到散熱空間的é™åˆ¶æ™‚,風冷è£ç½®çš„æ•£ç†±æ¥µé™ç´„為40w/cm2,如果ä¸å—散熱空間的é™åˆ¶ï¼Œæé«˜é¢¨æ‰‡é¢¨é‡å’Œå¢žå¤§æ•£ç†±å™¨é¢ç©æœƒä½¿é¢¨å†·ç³»çµ±çš„æ•£ç†±èƒ½åŠ›æ›´é«˜ä¸€äº›ã€‚è¨è¨ˆäººå“¡å¯æ ¹æ“šæ•£ç†±å¯†åº¦å’Œæ•£ç†±ç©ºé–“çš„å¤§å°ä¾†é¸æ“‡åˆç†çš„風冷è£ç½®ã€‚
4 水冷åŠå…¶å®ƒæ•£ç†±ç³»çµ±
é›–ç„¶é¢¨å†·æŠ€è¡“ä¸æ–·æé«˜ï¼Œä½†é¢¨å†·æœ¬èº«å—到散熱能力的é™åˆ¶ï¼Œéš¨è‘—熱æµå¯†åº¦ä¸æ–·æé«˜ï¼Œå…·æœ‰æ›´å¤§æ•£ç†±èƒ½åŠ›çš„æ°´å†·è£ç½®çš„æ‡‰ç”¨å°‡å¤§è¡Œå…¶é“ã€‚æ ¹æ“šé™„è¡¨ï¼Œæ°£é«”å¼·åˆ¶å°æµæ›ç†±ç³»æ•¸çš„大致范åœç‚º20~100w/(m2â„ƒï¼‰ï¼Œæ°´å¼·åˆ¶å°æµçš„æ›ç†±ç³»æ•¸é«˜é”15000w/(m2â„ƒï¼‰ï¼Œæ˜¯æ°£é«”å¼·åˆ¶å°æµæ›ç†±ç³»æ•¸çš„百å€ä»¥ä¸Šï¼Œæ°´æ²¸é¨°æ›ç†±ç³»æ•¸æ›´é«˜ï¼Œå¯ä»¥é”到25000w/(m2â„ƒï¼‰ã€‚ç›®å‰æ°´å†·è£ç½®çš„æœ€å¤§æ•£ç†±èƒ½åŠ›é‚„æ²’æœ‰å¾—åˆ°ç ”ç©¶ã€‚ä»¥ä¸‹é€šéŽå¹¾ç¨®å†·å»è£ç½®çš„æ•£ç†±æ€§èƒ½ä¾†èªªæ˜Žæ°´å†·ç³»çµ±çš„æ•£ç†±èƒ½åŠ›ã€‚
ç¾åœ¨å°å°åˆ·é›»è·¯æ¿æˆ–者混和電路基片進行冷å»çš„ä¸€ç¨®å¸¸ç”¨æ–¹å¼æ˜¯å°‡å®ƒå€‘連接到采用空氣或者液體冷å»çš„冷æ¿ä¸Š[6]。冷æ¿é‡‡ç”¨ç©ºå¿ƒçµæ§‹ï¼Œé€šå¸¸å…§éƒ¨ç‚ºèœ‚çª©ç‹€æˆ–è€…å›žæ—‹ç‹€çš„çµæ§‹å½¢å¼ã€‚å·¥è³ªé€šå¸¸æ˜¯æ°´ã€‚å†·å»æ°´é€šéŽå¼·åˆ¶å°æµå†·å»çš„æ–¹å¼å°‡ç†±é‡å¸¶èµ°ã€‚水在管路內的æµå‹•æ ¹æ“šé›·è«¾æ•¸ï¼ˆre)的大å°å¯åˆ†ç‚ºå±¤æµã€éŽæ¸¡æµã€ç´Šæµä¸‰ç¨®æµæ…‹ã€‚æ–‡ç»[7]ä¸çµ¦å‡ºäº†ä¸åŒæµæ…‹ä¸‹åŠªå¡žç‰¹æ•¸çš„ç¶“é©—å…¬å¼ï¼Œå¯ä½œç‚ºè¨ˆç®—å†·æ¿æ•£ç†±é‡çš„便“šã€‚å°äºŽå†·æ¿ï¼Œä½¿ç”¨è€…最為關心的是熱阻和æµé˜»å…©å€‹åƒæ•¸ã€‚在è¨è¨ˆéŽç¨‹ä¸ï¼Œè¨è¨ˆè€…希望得到冷æ¿ç†±é˜»å’Œæµé˜»çš„關系,å³åœ¨ä¸€å®šçš„ç†±é˜»è¦æ±‚下,æµé˜»è¶Šä½Žè¶Šå¥½ï¼Œé€™äºŒè€…之間的關系一方é¢é€šéŽè¨è¨ˆè€…的經驗得到,å¦ä¸€æ–¹é¢ï¼Œé‚„需è¦é€šéŽç†è«–分æžï¼Œç›®å‰ï¼Œé€™æ–¹é¢çš„ç†è«–ç ”ç©¶é‚„ä¸å……分。
æ¯”å¼·åˆ¶å°æµå†·å»å…·æœ‰æ›´å¤§æ›ç†±èƒ½åŠ›çš„æ˜¯æ²¸é¨°æ›ç†±ã€‚ç›®å‰äººå€‘å·²è¨è¨ˆäº†å¤šç¨®å†·å»è£ç½®é€šéŽæ¶²é«”的沸騰æ›ç†±ä¾†å†·å»é«˜ç†±æµå¯†åº¦çš„芯片。heffingtonç‰äººè¨è¨ˆäº†ä¸€ç¨®ç”±æŒ¯å‹•產生霧化液滴冷å»åŠ ç†±è¡¨é¢çš„è£ç½®ï¼ˆvibration-induced droplet atmozation,vida)。è£ç½®çµæ§‹å¦‚圖3所示。該è£ç½®æ˜¯ä¸€å€‹å››å‘¨è£æœ‰æ•£ç†±ç‰‡çš„å°é–‰è…”,腔直徑為50mm,厚度為20mmã€‚è…”å…§åº•éƒ¨è£æœ‰å£“電致動器和少許液體(水或fcï¼72ï¼‰ã€‚è‡´å‹•å™¨æŒ¯å‹•ç”¢ç”Ÿéœ§ç‹€æ¶²æ»´ï¼Œæ¶²æ»´é£›æ¿ºåˆ°åŠ ç†±è¡¨é¢ï¼Œåœ¨åŠ ç†±è¡¨é¢å½¢æˆæŒçºŒçš„æ¶²è†œï¼ŒåŒæ™‚液膜汽化帶走熱é‡ã€‚腔內的蒸汽被腔體外表é¢çš„æ•£ç†±å™¨å†·å»å½¢æˆæ¶²é«”,在é‡åŠ›ä½œç”¨ä¸‹å›žåˆ°è…”å…§åº•éƒ¨ã€‚heffingtonç‰äººå¯¦é©—ç ”ç©¶çš„çµæžœè¡¨æ˜Žï¼Œå¦‚果腔體外表é¢é‡‡ç”¨é¢¨å†·æ•£ç†±ï¼ŒåŠ ç†±è¡¨é¢æº«åº¦ç‚º100℃時,該è£ç½®çš„æœ€å¤§æ•£ç†±èƒ½åŠ›ç‚º100w/cm2,如果采用水冷散熱,其散熱能力å¯é”到200w/cm2。

上世紀80年代䏿œŸï¼Œç¾Žåœ‹å¸è€…tuchermanå’Œpeaseå ±é“了一種如圖4所示的微通é“çµæ§‹ã€‚è©²çµæ§‹ç”±é«˜å°Žç†±ç³»æ•¸çš„ææ–™ï¼ˆä¾‹å¦‚硅)構æˆã€‚通é“寬(wc)和通é“å£åŽšï¼ˆws)å‡ç‚º50μm,通é“高寬比(b/wc)約為10。在底é¢ï¼ˆw×lï¼‰åŠ ä¸Šçš„ç†±é‡qç¶“éŽå¾®é€šé“å£å‚³å°Žè‡³é€šé“內,然åŽè¢«å¼·åˆ¶å°æµçš„æµé«”å¸¶èµ°ã€‚ç”±äºŽå¾®é€šé“尺寸微å°ï¼Œé€šé“內的傳熱è¦å¾‹èˆ‡å¤§å°ºåº¦æ§½é“完全ä¸åŒã€‚他們的實驗表明當水的æµé‡ç‚º10cm3/s,水的溫å‡ç‚º71℃時,冷å»ç†±æµé«˜é”790w/cm2ã€‚æ˜¯ç›®å‰æ•£ç†±èƒ½åŠ›æœ€å¤§çš„æ°´å†·è£ç½®ã€‚

微通é“的出ç¾é©æ‡‰äº†ä¸æ–·å¢žé«˜çš„微電å芯片熱æµå¯†åº¦çš„冷å»éœ€è¦ï¼Œç„¡ç–‘å®ƒåœ¨å…¶å®ƒé ˜åŸŸä½œç‚ºé«˜æ•ˆç·Šæ¹Šçš„æ›ç†±å™¨æˆ–冷å»è£ç½®ä¹Ÿæ“æœ‰å»£é—Šçš„æ‡‰ç”¨å‰æ™¯ã€‚
ç¶œåˆä»¥ä¸Šæ°´å†·è£ç½®çš„介紹分æžï¼Œå¯çŸ¥å…¶æ•£ç†±èƒ½åŠ›æ¯”é¢¨å†·è£ç½®é«˜å‡º1~2個數é‡ç´šï¼Œè€Œä¸”其散熱能力還沒有被充分挖掘,隨著熱æµå¯†åº¦çš„䏿–·é«˜æ¼²ï¼Œå…¶æ‡‰ç”¨å°‡æœƒè¶Šä¾†è¶Šå»£æ³›ã€‚
5 çµæŸèªž
本文綜åˆåœ‹å…§å¤–æ–‡ç»ä¸å°é¢¨å†·å’Œæ°´å†·å…©ç¨®å¸¸è¦‹æ•£ç†±æ–¹å¼çš„ç ”ç©¶çµæžœï¼Œç¸½çµå‡ºé€™å…©ç¨®æ•£ç†±æ–¹å¼çš„æ•£ç†±èƒ½åŠ›å’Œé©ç”¨èŒƒåœï¼Œç‚ºç†±è¨è¨ˆäººå“¡é¸æ“‡ç¶“濟åˆç†çš„æ•£ç†±æ–¹å¼æä¾›åƒè€ƒä¾æ“šã€‚
(1)å—到散熱空間é™åˆ¶æ™‚,風冷系統散熱極é™ç´„為40w/cm2。如果ä¸å—散熱空間的é™åˆ¶ï¼Œæé«˜é¢¨æ‰‡é¢¨é‡å’Œå¢žå¤§æ•£ç†±å™¨é¢ç©æœƒä½¿é¢¨å†·ç³»çµ±çš„æ•£ç†±èƒ½åŠ›æ›´é«˜ä¸€äº›ã€‚
(2)水冷系統的散熱能力比風冷系統高出1~2個數é‡ç´šï¼Œå…¶æ•£ç†±æ½›åŠ›é‚„æœªå¾—åˆ°å……åˆ†æŒ–æŽ˜ï¼Œç›®å‰æ°´åœ¨å¾®é€šé“å…§å¼·åˆ¶å°æµçš„冷廿–¹å¼æ˜¯æ°´å†·ç³»çµ±ä¸å…·æœ‰æœ€å¤§æ•£ç†±èƒ½åŠ›çš„æ–¹å¼ï¼Œå…¶æ•£ç†±èƒ½åŠ›å¯é”790w/cm2。
åƒè€ƒæ–‡ç»
[1] 楊世銘. 傳熱å¸[m]. 北京:é«˜ç‰æ•™è‚²å‡ºç‰ˆç¤¾,1997.
[2] sukhvinder kang,cooling technologies for power electronics, report in xi’an jiaotong university, 2009.
[3] intel pentium 4 data sheet, table 37, p93,january 2002.
[4] manish saini, ralph l.webb.heat rejection limits of air cooled plane fin heat sinks for computer cooling.the eighth intersociety conference on thermal and thermo-mechanical phenomena in electronic system.2002.
[5] ralph l.webb, shinobu yamauchi, et al.remote heat sink concept for high power heat rejection.ieee transactions on components and packaging technologies, volume: 25 issue: 4,dec 2002.
[6] 胡志勇. 當今電åè¨å‚™å†·å»æŠ€è¡“的發展趨勢[j]. 電忩Ÿæ¢°å·¥ç¨‹,1999(2).
[7] jerry sergent, al krum.thermal management handbook. 1998