

TONiC™ RSLM直線光柵系統
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RSLM不銹鋼柵尺的性能可與小柵距玻璃光柵相媲美,長度范圍卻遠超后者,可達10 m。RSLM的整體精度(包括斜率誤差和線性誤差)在5 m的情況下可達±4 µm — 實現業內領先水平! RSLM可以方便的成卷存放,一旦展開,就可以像柵尺一樣使用。 與具有±30 nm超低周期誤差(電子細分誤差 - SDE)的柵尺結合在一起,RSLM是測量精度要求嚴格的長行程應用場合的理想解決方案。

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