摘要：介紹j直線電機在劃片機中的應用，結果表明，直線電機在高精度定位和進給方面，性能優異。 關鍵詞：直線電機劃片機高精度定位 Keywords linear motor，dicing machine，high accuracy of positioning 隨著計算機、通信、高性能消費類電子產品等產業的高速發展，對Ic的需求越來越大，預計2008年我國對Ic的需求量將超過180億塊，而我國各類IC的封裝量目前僅達到38億塊，國內封裝產量遠遠不能滿足國內市場需求。在集成電路后封裝工藝過程中，對半導體芯片劃片是其第1道工序，由于要求精度高，所以在我們自行研制生產的劃片機中選用了直線電機用于高精度定位和進給機構中。 工藝流程及要求 劃片是Ic后封裝中的第1道工序，其加工質量將直接影響整個生產線的整體質量。劃片采用精密切割技術，一般采用厚15～50um 的金剛砂輪片，將圓晶片上各個獨立的器件分割開來，劃片槽的寬度通常都小于6um，劃片深度在600～m以內。劃片機采用CCD 攝像機和圖像處理軟件對圓晶片進行精確對位，直線電機步進分辨率高達1um，用于保證對位和加工的準確性，達到精密切割加工的目的 Ic后封裝工藝流程見圖l。 [b][align=center]詳細內容請點擊： 直線電機在劃片機中的應用[/align][/b]