近日，記者從成都高新區(qū)獲悉，由成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司承擔(dān)的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項(xiàng)目《超光滑表面無損檢測(cè)儀》正式啟動(dòng)。

記者了解到，作為四川目前唯一一項(xiàng)國(guó)家“十三五”重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備的開發(fā)項(xiàng)目，該項(xiàng)目將通過專項(xiàng)帶動(dòng)，集成國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)力量重點(diǎn)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)高端超光滑表面無損檢測(cè)儀器國(guó)產(chǎn)化，替代國(guó)外同類產(chǎn)品，打破國(guó)外公司的技術(shù)壟斷和價(jià)格壁壘。

記者了解到，該項(xiàng)目由成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司牽頭，協(xié)同國(guó)內(nèi)多家技術(shù)實(shí)力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學(xué)、研、用相結(jié)合的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)共同實(shí)施。該項(xiàng)目擬研制用于非透明物體超光滑表面及具有多層超光滑平行反射面透明物體的納米級(jí)表面形貌高精密測(cè)量的Φ150mm超光滑表面無損檢測(cè)儀。該儀器主要用于高精度非接觸測(cè)量，可以廣泛的應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)的快速檢測(cè)，還可應(yīng)用于大型現(xiàn)代光學(xué)工程系統(tǒng)，如大型高功率固體激光系統(tǒng)、極紫外光刻、航空航天空間光學(xué)等領(lǐng)域中大口徑元件面形、材料特性等參數(shù)測(cè)量。項(xiàng)目預(yù)期取得或申請(qǐng)發(fā)明專利、軟件著作權(quán)、相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)等25項(xiàng)相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，研究成果預(yù)計(jì)發(fā)表相關(guān)論文20余篇。

“以受檢測(cè)器件芯片為例，芯片是由多層構(gòu)成且呈透明或半透明狀態(tài)，受自干涉條紋等條件影響，傳統(tǒng)接觸式測(cè)量中其他表面會(huì)影響到待測(cè)表面的實(shí)際檢測(cè)，且任何接觸都會(huì)對(duì)芯片本身造成一定傷害。而超光滑表面無損檢測(cè)儀采用非接觸式測(cè)量，且采用多表面分離算法，該算法可以分離出待測(cè)表面的信息，避免受其它表面的影響。”成都太科光電總經(jīng)理趙智亮介紹說，該項(xiàng)目的實(shí)施，可以提高國(guó)內(nèi)面形檢測(cè)的能力，實(shí)現(xiàn)多表面元件或平行平板的檢測(cè)，使其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或超過國(guó)外同類產(chǎn)品水平。項(xiàng)目完成后，將研制數(shù)臺(tái)超光滑表面無損檢測(cè)儀，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的系列化產(chǎn)品和關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化路線，為未來產(chǎn)業(yè)化發(fā)展提供工藝路線。預(yù)計(jì)項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)，完善儀器產(chǎn)品化所有流程，基本形成產(chǎn)品化的標(biāo)準(zhǔn)工藝流程，企業(yè)產(chǎn)值達(dá)到上億元。

同時(shí)，記者了解到，該項(xiàng)目?jī)x器的研制將帶動(dòng)國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，超光滑表面無損檢測(cè)儀將在半導(dǎo)體照明、太陽能新能源，高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路以及國(guó)家重大光學(xué)工程等相關(guān)行業(yè)和領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。改變現(xiàn)在采用的接觸式測(cè)量方式，大大提高檢測(cè)精度和測(cè)試效率，對(duì)于這些應(yīng)用行業(yè)和領(lǐng)域具有巨大的帶動(dòng)和促進(jìn)作用。

記者了解到，該項(xiàng)目已經(jīng)分別獲得國(guó)家科技部2000萬元、成都高新區(qū)200萬元資金支持?！俺啥几咝聟^(qū)鼓勵(lì)企業(yè)開展自主創(chuàng)新，積極承擔(dān)國(guó)家科技計(jì)劃項(xiàng)目，提升研發(fā)水平和創(chuàng)新能力?！背啥几咝聟^(qū)科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人說，獲得國(guó)家重大科技創(chuàng)新項(xiàng)目立項(xiàng)支持且項(xiàng)目國(guó)撥資金到位的成都高新區(qū)企業(yè)，可按照國(guó)撥資金實(shí)際到位額的10%進(jìn)行配套資助申請(qǐng)，同一項(xiàng)目申請(qǐng)金額最高不超過200萬元，同一家企業(yè)同一年度申請(qǐng)?jiān)擃愘Y金額度最高不超過200萬元。“未來五年，成都高新區(qū)將每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持知名大學(xué)科研成果在區(qū)內(nèi)轉(zhuǎn)化；每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持國(guó)內(nèi)外頂尖企業(yè)研發(fā)中心在區(qū)內(nèi)落戶；每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持引進(jìn)高端人才到成都高新區(qū)發(fā)展?！?/P>

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