【中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng) 新品新聞】臺(tái)積電前不久試產(chǎn)了7nmEUV工藝，預(yù)計(jì)明年大規(guī)模量產(chǎn)，三星今天宣布量產(chǎn)7nmEUV工藝，這意味著EUV工藝就要正式商業(yè)化了，而全球最大的光刻機(jī)公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年。ASML公司日前發(fā)布2018年Q3季度財(cái)報(bào)，當(dāng)季營(yíng)收27.8億歐元，凈利潤(rùn)6.8億歐元，出貨了5臺(tái)EUV光刻機(jī)，全年預(yù)計(jì)出貨18臺(tái)，明年將增長(zhǎng)到30臺(tái)，而且明年下半年會(huì)推出新一代的NXE:3400C型光刻機(jī)，生產(chǎn)能力從現(xiàn)在的每小時(shí)125晶圓提升到155片晶圓以上，意味著產(chǎn)能提升24%。
根據(jù)ASML公司的Q3季度財(cái)報(bào)，ASML的設(shè)備銷(xiāo)售營(yíng)收20.81億歐元，安裝管理服務(wù)等業(yè)務(wù)營(yíng)收6.95億歐元，當(dāng)季營(yíng)收27.76億歐元，同比增長(zhǎng)13.4%，環(huán)比增長(zhǎng)1%，不過(guò)毛利率達(dá)到了48.1%，同比增加5.2個(gè)百分點(diǎn)，環(huán)比也增加了4.8個(gè)百分點(diǎn)。
Q3季度的光刻機(jī)銷(xiāo)售中，韓國(guó)公司占比33%，臺(tái)灣公司占比30%，大陸公司占比18%，前一個(gè)季度中大陸公司占比是19%，不過(guò)Q3季度中臺(tái)灣公司占比從18%增長(zhǎng)到了30%，韓國(guó)公司占比從35%降至33%。
在單機(jī)過(guò)億歐元的EUV光刻機(jī)方面，Q3季度ASML出貨了5臺(tái)EUV光刻機(jī)，上個(gè)季度出貨7臺(tái)EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)Q4季度出貨6臺(tái)EUV光刻機(jī)，全年出貨的數(shù)量將達(dá)到18臺(tái)，而2019年EUV光刻機(jī)預(yù)計(jì)出貨數(shù)量達(dá)到30臺(tái)。
明年除了EUV光刻機(jī)數(shù)量大漲之外，ASML公司明年下半年還將推出進(jìn)一步改進(jìn)的NXE:3400C光刻機(jī)，WPH（每小時(shí)處理的晶圓數(shù)量）產(chǎn)能將提升到155片，而現(xiàn)在的NXE:3400B型EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能在合作伙伴的工廠中已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了125WPH的產(chǎn)能，NXE:3400C的產(chǎn)能預(yù)計(jì)再提升24%，這對(duì)改善EUV工藝的產(chǎn)能很有幫助。
不過(guò)EUV光刻工藝今年正式量產(chǎn)只是一個(gè)開(kāi)始，EUV光刻工藝目前離成熟還早呢，155WPH的產(chǎn)能可喜可賀，但是現(xiàn)在的沉浸式光刻機(jī)的產(chǎn)能可達(dá)250WPH，而且能以250W的光源長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，這些都是EUV光刻機(jī)暫時(shí)做不到的。
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