

GDM300晶圓研磨(Wafer Grinding)衡鵬
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GDM300晶圓研磨(Wafer Grinding)衡鵬
—采用全自動系統,從后磨到貼裝的連續過程
GDM300晶圓研磨(Wafer Grinding)特長:
采用全自動系統,從后磨到貼裝的連續過程,可研磨至25um厚度。
2個磨頭階段,產量幾乎是1個磨頭系統的兩倍。
內置修邊系統可作為薄型晶圓加工的選擇。
雙指標體系,拋光階段和研磨階段完全分離,滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。
超亮度小于Ra1A,可超鏡面。
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衡鵬供應
GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄/晶圓拋光/晶圓背拋/Wafer Grinding

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