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結構特點
由無齒槽直驅力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成,最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結構設計使工作臺面降到最低,減小系統誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題,力矩電機固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射,適合在各種速度下平滑轉動。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列氣浮轉臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm,擺角誤差3μrad,最大負載100kg,電動控制和手動轉動跳動誤差一致,使用壽命10年以上。
閉環反饋
使用圓光柵閉環反饋,分辨率優于0.01arc sec,同時采用高性能控制系統,優化氣浮結構,氣浮轉臺能精準回零。
定制化
氣浮轉臺可安裝滑環,用于空間模擬裝置,MEMS和慣性導航等應用。

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