結(jié)構(gòu)特點

三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效地降低工作點的高度，減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機驅(qū)動，具有零齒槽、高動態(tài)性能及電流噪聲小等特點。運動臺在低速運動時保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會產(chǎn)生振動。抗蠕動交叉滾柱直線導(dǎo)軌，滾柱間線線接觸，運動平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。

精度性能

非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控，獲得高精度指標(biāo)，定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度和平面度±0.5μm，是高精度場所的理想選擇。

微動步距

對有微動步距（最小位移量）要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如最小步距運動、對準(zhǔn)應(yīng)用等，微動步距≤2nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。

定制化

可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr；定制最大加速度，多軸結(jié)構(gòu)等；根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。

規(guī)格指標(biāo)

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下的精度指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。