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精密Z軸
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  • 精密Z軸

精密Z軸

產品型號RBZ-SG

廠商性質系統集成商

公司名稱北京瑞邦精控科技有限公司

地       址聯東U谷

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聯系人:王欣悅 18145668702

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企業信息

普通會員2

公司類型:系統集成商

主運營:氣浮運動臺,線軌位移臺,氣浮轉臺

所在地區:市轄區

注冊時間:2024-04-20

產品介紹

結構特點

RBZ-SG系列直驅結構,承載能力大,在一個長行程的移動范圍,保持盡可能低的高度,優化阿貝誤差影響,有助于提高整體精度性能??谷渥兘徊鏉L柱導軌垂直導向,為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創新解決方案。

 

直驅結構

力矩電機作為直驅方式,沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯軸器中間傳動環節,RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動,相對側升結構Z軸,無需轉接板,負載重心布置在Z軸中心,有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。

 

光柵閉環反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環反饋,直線光柵和圓光柵相結合的雙反饋方式,直接測量工件移動時的誤差,提高了精度性能。

規格指標

型號

單位

RBZ-20SG

RBZ-35SG

RBZ-50SG

行程

mm

20

35

50

補償后定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.15

±0.15

標準值

±1

±1

±1

雙向重復定位精度

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.075

±0.075

標準值

±0.5

±0.5

±0.5

直線度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.5

±0.5

±0.75

標準值

±3

±4

±5

Pitch Roll (2)

Plus (1) 

arc sec

±2.5

±2.5

±3.5

標準值

±5

±5

±7

Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±2

±2

±3

標準值

±5

±5

±7

電子分辨率 (3)

nm

0.3 5(選配)

最大速度 (空載) (4)

mm/s

10

10

20

最大負載

kg

20

40

60

注:

以上為單軸精度指標,在潔凈間內測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-E,測試點在負載板上25mm處,測試速度5mm/sRenishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關,環境的變化會導致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標,是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

4. 空載條件下的指標,最大速度取決于負載大小。

 

 


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