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意法半導體 MEMS線性加速度傳感器
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MEMS線性加速度傳感器概述：
線性加速度傳感器的MEMS傳感器基于交叉式梳形硅結構，由固定的和可移動的指狀元件組成。為了檢測不同方向上的加速度，這些結構以正交群封裝。每個方向上的加速通過測量實現與該軸相關的可移動元件的變動原理，然后檢測到的運作由傳感器轉化成模擬或數字信號。
MEMS線性加速度傳感器的主要特性有：
優異的抗沖擊能力
標準模式下的低消耗
省電模式
加速噪聲密度： <50ug/Hz
嵌入式自檢
操作溫度范圍：-40/+85°C
高溫穩定性
壽命周期高穩定性
采用表面成型封裝
符合RoHS標準
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