中國工程院院士、清華大學副校長尤政

近日，“千人計劃”專家聯誼會創新企業家專委會2017年年會在青島市嶗山區舉辦，100多位“千人計劃”專家齊聚青島嶗山，圍繞“技術、創業、資本、產業”共商人才與產業發展大計。本次會議中，中國工程院院士、清華大學副校長尤政詳細介紹了顛覆性技術——微機電系統（MEMS），并對青島市嶗山區的創新和創業環境給予了高度評價。

偉大的“智能灰塵（SamrtDust）”

太湖藍藻調查過程中，可能會花10萬元采集數據，但使用“智能灰塵”可能幾百元、幾千元就可以完成……

這個“智能灰塵”，就是中國工程院院士、清華大學副校長尤政所說的微機電系統（MEMS）顛覆性技術，“‘智能灰塵’有多大？總質量5毫克，總體積1.5立方毫米?！逼鋺脧V泛，如微型厚膜電池、超級電容器、太陽能電池、MEMS傳感器等。一個“智能灰塵”的成本只有兩塊錢，但卻有著巨大的技術前景。

MEMS技術和微電子技術最大的區別就是，微電子是二維工藝，微系統是三維架構。“智能灰塵”技術有著無可比擬的特點：微型化、低成本、功耗低、高可靠?！爸悄芑覊m”重量、尺寸都要小，成本更低。有人說，“智能灰塵”做小了，就是個玩具，實際上卻是高精度、高度集成。比如智能子彈將來不用瞄準，打出去子彈自己命中目標。

“智能灰塵”有著巨大的市場潛力?！白畲蟮囊粋€市場是智能手機，MEMS技術挽救了手機。智能手機這么好就是因為用了MEMS傳感器。”尤政說，“如果一個MEMS傳感器在一個手機里賺一塊錢，帶來的收益多大，大家可以想象。山東知名企業歌爾股份就是通過MEMS技術制作硅麥克風，創造了百億元的產值。目前，傳統駐極體麥克風90%的市場被MEMS技術替代。

物聯網由傳感器、網絡和服務三部分組成，物聯網最大的費用是傳感器。正是有了“智能灰塵”，使傳感器等器件的重量越來越輕，體積越來越小，改變了行業的發展。尤政說，中國制造業是從2.0補課，3.0普及，4.0示范。目前國內MEMS技術正在從技術研究逐漸走向產品化，一些企業正在進行開發和利用。清華大學和北京大學在山東淄博建有MEMS中試線，著眼于從系統上解決問題。

中國市場應帶動核心MEMS技術發展

尤政院士表示，中國智能制造機器人是全球最大的市場，但目前中國機器人應用情況令人堪憂。國內巨大市場最終要帶動中國核心技術（如MEMS傳感器）和中國產品的發展?！霸诟母镩_放前三十年，我們沒有賣過一項專利，因為專利是國有的?！庇日嬖菏吭V記者，2015年以后，他們有了技術轉移院，可以代國家轉讓技術，從2016年到2017年，一年過程中有8個多億的資金轉化。

“我們發起了微納制造、器件與系統協同創新中心，瞄準我們國家系統的正向設計，從基礎研究開始，系統化解決問題。由我們這些單位形成了協同網絡，共同培育我們國家MEMS傳感器的發展。同時，也從全世界請了很多MEMS專家來做行業顧問。我們做得比較有特色，MEMS陀螺儀現在可以做到0.1度，甚至0.01度也可以做到。我們還有激光雷達，重量大約在100克左右。也有芯片上的小火箭，把微型推進器集成進去。另外，我們的MEMS開關和繼電器是世界領先水平。值得一提的是，我們注重于MEMS在航天的應用，研發了非常小的MEMS衛星，目前我們有三顆衛星在外太空運行了2年多?！庇日菏空f。

微電子技術時代，只要有一家技術領先的，其他都要關門。而MEMS技術不一樣，你能做這種傳感器不代表你能做那種傳感器，對產業化發展提供了機會。尤政院士表示，下一步要發揮大企業的產業化作用，鼓勵專精特小企業的發展，將政府和市場競爭相結合，把人才培養、優惠政策和產業集聚相結合，為國家MEMS發展開辟一條光明之路。

關于微納制造、器件與系統協同創新中心

9月22日，由清華大學牽頭發起聯合組建的“微納制造、器件與系統協同創新中心”在清華大學主樓接待廳舉行培育啟動儀式。清華大學副校長薛其坤，重慶大學副校長李茂國，北京遙測技術研究所所長李艷華等13位協同創新單位代表出席啟動儀式，并共同簽署“微納制造、器件與系統協同創新中心”組建培育協議。

該中心由清華大學牽頭，聯合北京大學、上海交通大學、東南大學、重慶大學、天津大學等六所高校發起，攜手淄博國家高新區MEMS研究院、陜西寶成航空儀表有限責任公司、中國空空導彈研究院、中國兵器工業集團第二一四研究所、北京遙測技術研究所、中國電子科技集團公司第五十五研究所、中國航天科技集團錢學森空間實驗室組建培育。

該中心旨在創新科技體制機制改革，整合國內微米納米的創新力量和資源，提升高等學校的創新能力，為未來五十年我國在信息和能源等新興產業以及國防科技方面領跑世界奠定基礎，為建設創新型國家做出貢獻。中心涉及微納器件的正向設計與多學科仿真優化、先進材料和特殊材料的微納制造、原創的MEMS加工新工藝、微納器件、系統的集成和測試等研究方向，致力于形成世界領先的微米納米學術研究制高點，構建一支國家智能微系統技術協同創新團隊，研發一批國家急需的高端MEMS器件及系統，建成世界一流的微納制造開放平臺與人才培養基地。